Основа оборудования для проверки ЖК-панелей выполнена из гранита. Основная причина заключается в том, что он обеспечивает долговременную стабильность, антивибрацию, низкую тепловую деформацию, немагнитность и износостойкость эталонной платформы при нанометрической точности обнаружения, что идеально соответствует строгим требованиям к инспекции панелей.
I. Основные преимущества (почему стоит выбрать именно его)
- Экстремальная термостабильность (наиболее критично)
Низкий коэффициент теплового расширения: около 10-⁶/℃, всего 1/2 от стального и 1/4 от алюминиевого.
Размеры остаются практически неизменными при колебаниях температуры, что позволяет избежать дрейфа оптических/механических эталонов и обеспечить точность определения на микронном/нанометровом уровне.
Устраняет “дрейф эталона”, вызванный тепловым расширением и сжатием металла, устраняя необходимость в частой калибровке. - Превосходная вибрация D (защита от помех)
Плотная кристаллическая структура с коэффициентом демпфирования намного выше, чем у чугуна, способна поглощать микровибрации от пола цеха и самого оборудования.
Панельная инспекция (например, AOI, Cell inspection) чрезвычайно чувствительна к вибрации; гранитное основание удерживает вибрацию в пределах 0,02 мм/с, что позволяет избежать размытия изображения и ошибок измерения.
Отсутствие необходимости в дополнительных сложных виброгасящих устройствах упрощает конструкцию и повышает устойчивость. - Долгосрочная стабильность размеров (нулевое внутреннее напряжение)
Натуральный гранит, сформировавшийся за сотни лет геологического воздействия, полностью освободился от внутреннего напряжения и не подвержен усталости металла.
Почти нет деформации при длительном использовании (10 лет), точность смещения ≤0,2 мкм/5 лет, что намного лучше, чем у металла.
Как “опорная поверхность” оборудования, она может долгое время гарантировать геометрическую точность установки и системы движенияНемагнитная, изолирующая и антикоррозийная (подходит для электронного контроля)
Совершенно немагнитный, не создает помех для оптических или электрических сигналов при проверке панелей (таких как FT-цепи, обнаружение пиксельных дефектов).
Устойчив к кислотам и щелочам, не ржавеет, подходит для чистых помещений и отличается крайне низкими эксплуатационными расходами.
Хорошая изоляция позволяет избежать помех от статического электричества и токов утечки, влияющих на работу прецизионных схем. - Высокая твердость и сверхточная поверхность
Твердость по Моосу 6-7, износостойкость и устойчивость к царапинам, прибой, который может быть обработан до сверхгладкого уровня Ra 0,02 мкм.
Подходит для рельсов/платформ на воздушных подшипниках, обеспечивая плавное движение без трения, высокоскоростное и высокоточное сканирование.
Отсутствие заусенцев после удара не влияет на общую плоскостность, обеспечивая долговременную надежность точности.
II. Сравнение с металлическими основами (почему не стоит выбирать металл)
Таблица
| Характеристики | Гранитное основание | Металлическое (чугун/сталь/алюминий) основание | Влияние на инспекцию панели |
|---|---|---|---|
| Расширение терм | Крайне низкий уровень (3-5×10-⁶/℃) | Высокий (сталь: 11-13; алюминий: 23) | Металлический массив подвергается тепловой деформации, что приводит к смещению эталона и ошибке обнаружения |
| Демпфирование и снижение вибрации | Очень прочные (хорошо поглощают вибрации) | Слабый (легко передается вибрацияМеталл легко усиливает вибрацию, влияя на точность изображения и измерений | |
| Долгосрочная стабильность | Почти без деформации | Внутреннее напряжение, склонность к ползучести/усталости | Металл требует частой калибровкиНит надежен в течение длительного времени |
| Магнетизм | Нет | Присутствует (легко намагничивается) | Намагниченность металла мешает электронному обнаружению; гранит не мешает |
| Техническое обслуживание | Устойчивый к коррозии | Требуется антикоррозийная обработка и размагничивание | Высокая стоимость обслуживания для металла; почти полное отсутствие обслуживания для гранита |
III. Особое значение в инспекции ЖК-панелейАдаптация для сверхбольших панелей: Для проверки стеклянных подложек Gen 8.5-11 требуется сверхбольшое, сверхплоское и сверхстабильное основание; гранит, покрытый коркой, должен быть цельным или сращенным для обеспечения общей плоскостности.
Ссылка на оптическую систему: CCD/CMOS камеры, лазерные интерферометры, микроскопы и т.д. полагаются на гранит, чтобы обеспечить нулевое смещение установки.
Платформа для высокоскоростного перемещения: Станок XY на воздушных подшипниках использует гранитное основание для достижения высокоскоростного, плавного и повторяемого позиционирования, что позволяет удовлетворить потребности производственной линии в цикле.
Контроль дефектов нанометрового уровня: Для контроля высокого разрешения микросветодиодов, OLED и т.д. отклонение в 1 нм может привести к ошибочной оценке; gr - единственный материал, способный поддерживать такую точность в течение длительного времени.
IV. Заключение
Гранитное основание служит в качестве “Основа точности” для оборудования для контроля ЖК-панелей: благодаря комплексным преимуществам низкого теплового расширения, высокой демпфирующей способности, нулевому внутреннему напряжению, немагнитным свойствам и износостойкости, он решает четыре основные проблемы точности при контроле панелей - ”e, вибрация, время и электромагнетизм” - что делает его неизбежным выбором для достижения надежного обнаружения на уровне от микрона до нанометра.
