1. Производство полупроводников и интегральных схем - Фотолитографический станок и верстак: Низкие характеристики тепловой деформации гранита обеспечивают стабильность наноразмерной резьбы. - Оборудование для контроля и упаковки пластин: Используется для высокоточных платформ для снижения влияния вибрации и температурных колебаний. 2. Прецизионные измерительные и метрологические приборы - Координатно-измерительные машины (КИМ): Гранитные направляющие и обеспечивают долговременную стабильность размеров, гарантируя точность измерений на микрометровом уровне. - Лазерный интерферометр, оптический профилометр: Используются в качестве базовой плоскости для обеспечения точного выравнивания траекторий. 3. Высокотехнологичные станки и обрабатывающие центры - Сверхточная станина: Используется для обработки зеркал, микротокарного оборудования, подавления и поддержания геометрической точности. - Высокоточные шлифовальные и фрезерные станки: Гранитные компоненты повышают жесткость оборудования и снижают погрешности обработки, вызванные тепловой деформацией. .
- Оптические и оптико-электронные системы - Поддержка телескопов: Крупные гранитные конструкции поддерживают группы линз, выдерживая деформацию под воздействием окружающей среды. - Платформа лазерного излучателя: Стабильность траектории основного луча в лазерной резке, медицинском лазерном оборудовании.
5. Научные исследования и специальные области - Пусковая линия ускорителя частиц: Используются такими учреждениями, как ЦЕРН, для поддержки прецизионных магнитов. - Устройство для обнаружения гравитационных волн (например, LIGO): Используется гигантское гранитное основание для изоляции сейсмических помех.
