День: 03/13/2026

Степени точности прецизионных воздухоопорных платформ (гранитных воздухоопорных платформ) обычно классифицируются в промышленности на две системы: точность движения и плоскость референса I. Степень точности гранитной платформы (метрологическая степень)Это базовая степень, определяющая, насколько точна опорная поверхность:ТаблицаСтепень плоскостности (типичная) Применимое оборудованиеСтепень 000 ≤ 2 мкм/м² Сверхвысокоточные КИМ, полупроводниковые инспекции,...

000 Гранитная платформа с воздушным подшипником Типичное подходящее оборудованиеI. Высокотехнологичное оборудование для полупроводников и панелей (основная область)Литографическое оборудованиеЛитографические выравнивающие платформыМашины для инспекции пластин, зонды для пластинИзмерение тонких пленок полупроводников, профилометрыМашины для склеивания чипов, оборудование для флип-чиповПлоские дисплеи (OLED/LCD) Микроинспекция, лазерное ремонтное оборудованиеII. Сверхвысокоточные измерительные приборыСверхвысокоточные координатно-измерительные машины (КИМ)Лазерные измерительные платформыВысокоточные профилометры,...