Прецизионная гранитная платформа с пневматическими опорами
I. Принципы работы и структурный составПринцип работы: чистый воздух под высоким давлением распыляется через пористый графит/дроссель hes для формирования равномерной воздушной пленки 5-15 мкм между гранитным основанием и подвижным ползуном; бесконтактная левитация достигает движения без трения, полагаясь на жесткость воздуха для поддержания нагрузки и направления; часто сочетается с вакуумной предварительной нагрузкой/магнитной предварительной нагрузкой для повышения...