La base de l'équipement d'inspection des panneaux LCD est en granit. La principale raison en est qu'elle constitue une plate-forme de référence stable à long terme, anti-vibrations, à faible déformation thermique, amagnétique et résistante à l'usure, avec une précision de détection de l'ordre du nanomètre, qui répond parfaitement aux exigences strictes de l'inspection des panneaux.
I. Avantages principaux (pourquoi le choisir)
- Stabilité thermique extrême (très critique)
Faible coefficient de dilatation thermique : environ 10-⁶/℃, soit seulement 1/2 de celui de l'acier et 1/4 de celui de l'aluminium.
Les dimensions restent pratiquement inchangées pendant les fluctuations de température, ce qui évite la dérive des références optiques/mécaniques et garantit une précision de détection de l'ordre du micron/nanomètre.
Elimine la “dérive de référence” causée par la dilatation et la contraction thermique du métal, éliminant ainsi la nécessité d'un étalonnage fréquent. - Vibration supérieure D (anti-interférence)
Structure cristalline dense avec un coefficient d'amortissement bien supérieur à celui de la fonte, capable d'absorber les micro-vibrations du sol de l'atelier et de l'équipement lui-même.
L'inspection des vitres (comme l'AOI, l'inspection des cellules) est extrêmement sensible aux vibrations ; la base en granit maintient les vibrations dans la limite de 0,02 mm/s, ce qui évite le flou de l'image et les erreurs de mesure.
Il n'est pas nécessaire d'ajouter des dispositifs complexes d'amortissement des vibrations, ce qui simplifie la structure et améliore la stabilité. - Stabilité dimensionnelle à long terme (contrainte interne nulle)
Le granit naturel, formé au cours de centaines de millions d'années d'action géologique, a complètement libéré les tensions internes et est exempt de fatigue métallique.
Presque pas de déformation lors d'une utilisation à long terme (10 ans), avec une dérive de précision ≤0,2μm/5 ans, bien supérieure au métal.
En tant que “surface de référence” de l'équipement, elle peut garantir à long terme la précision géométrique de l'installation et du système de mouvementNon magnétique, isolant et antirouille (adapté à l'inspection électronique)
Complètement non magnétique, il n'interfère pas avec les signaux optiques ou électriques lors de l'inspection des panneaux (tels que les circuits FT, la détection des défauts des pixels).
Résistant aux acides et aux alcalis, il ne rouille pas, convient aux salles blanches et présente des coûts d'entretien extrêmement faibles.
Une bonne isolation permet d'éviter les interférences dues à l'électricité statique et aux courants de fuite qui affectent les circuits de précision. - Dureté élevée et surface ultra-précise
Dureté Mohs 6-7, résistant à l'usure et aux rayures, avec une surface qui peut être usinée à un niveau super lisse Ra 0,02μm.
Adapté aux rails/plates-formes à coussin d'air, il permet un mouvement sans frottement et sans à-coups, ainsi qu'un balayage à grande vitesse et de haute précision.
Pas de bavures après l'impact, n'affecte pas la planéité générale, garantissant une fiabilité de précision à long terme.
II. Comparaison avec les bases métalliques (pourquoi ne pas choisir le métal)
Tableau
| Caractéristiques | Base en granit | Métal (fonte/acier/aluminium) Base | Impact sur l'inspection du groupe |
|---|---|---|---|
| Therm Expansion | Extrêmement faible (3-5×10-⁶/℃) | Élevée (acier : 11-13 ; aluminium : 23) | L'oreille métallique subit une déformation thermique, ce qui entraîne une dérive de la référence et une erreur d'appréciation de la détection |
| Amortissement et réduction des vibrations | Extrêmement solide (bonne absorption des vibrations) | Faible (transmission facile des vibrations) Le métal amplifie facilement les vibrations, ce qui affecte la précision de l'imagerie et des mesures. | |
| Stabilité à long terme | Presque pas de déformation | Contraintes internes, sujettes au fluage/fatigue | Le métal nécessite des étalonnages fréquentsLe métal est fiable à long terme |
| Magnétisme | Aucun | Présent (facilement magnétisé) | La magnétisation des métaux interfère avec la détection électronique ; le granit n'a pas d'interférence. |
| Maintenance | Mainte, résistant à la corrosion | Nécessite un traitement antirouille et de démagnétisation | Coût d'entretien élevé pour le métal ; entretien quasi nul pour le granit |
III. Valeur spécifique dans l'inspection des panneaux LCD Adaptation aux panneaux ultra-larges : Pour l'inspection des substrats en verre Gen 8.5-11, une base ultra-large, ultra-plate et ultra-stable est nécessaire ; le granit est cormé intégralement ou épissé pour garantir la planéité globale.
Référence du système optique : Les caméras CCD/CMOS, les interféromètres laser, les microscopes, etc., s'appuient sur le granit pour fournir une référence d'installation à dérive nulle.
Plate-forme de mouvement à grande vitesse : La platine XY à coussin d'air utilise une base en granit pour obtenir un positionnement rapide, fluide et reproductible, respectant les temps de cycle de la chaîne de production.
Inspection des défauts au niveau du nanomètre : Pour l'inspection à haute résolution des micro-LED, OLED, etc., un écart de 1 nm peut conduire à une erreur d'appréciation ; le gr est le seul matériau capable de maintenir cette précision à long terme.
IV. Conclusion
La base en granit sert de “Le fondement de la précision” pour les équipements d'inspection des panneaux LCD : grâce à ses avantages complets (faible dilatation thermique, amortissement élevé, contrainte interne nulle, propriétés non magnétiques et résistance à l'usure), il s'attaque aux quatre principaux facteurs de perte de précision dans l'inspection des panneaux - ”e, vibration, temps et électromagnétisme” - ce qui en fait le choix inévitable pour obtenir une détection fiable du niveau du micron au niveau du nanomètre.
