1. Fabrication de semi-conducteurs et de circuits intégrés - Machine de photolithographie et établi : Les caractéristiques de faible déformation thermique du granit garantissent la stabilité de la gravure à l'échelle nanométrique. - Équipement d'inspection et d'emballage des plaquettes de silicium : Utilisé pour les plates-formes de haute précision afin de réduire les effets des vibrations et des fluctuations de température. 2. Instruments de mesure et de métrologie de précision - Machines à mesurer tridimensionnelles (MMT) : Rails de guidage en granit et stabilité dimensionnelle à long terme, garantissant une précision de mesure de l'ordre du micromètre. - Interféromètre laser, profileur optique : Utilisés comme plan de référence pour assurer un alignement précis des trajectoires. 3. Machines-outils et centres d'usinage haut de gamme - Banc de machine ultra-précis : Utilisé pour le traitement des miroirs, l'équipement de micro-tournage, la suppression et le maintien de la précision géométrique. - Rectifieuses et fraiseuses de haute précision : Les composants en granit améliorent la rigidité de l'équipement et réduisent les erreurs d'usinage causées par la déformation thermique. .
- Systèmes optiques et optoélectroniques - Support de télescope : De grandes structures en granit supportent les groupes de lentilles et résistent aux déformations environnementales. - Plate-forme d'émetteur laser : Stabilité de la trajectoire du faisceau principal dans la découpe au laser et l'équipement médical au laser.
5. Recherche scientifique et domaines spéciaux - Guide des lignes de faisceaux des accélérateurs de particules : Des institutions telles que le CERN l'utilisent pour soutenir les aimants de précision. - Dispositif de détection des ondes gravitationnelles (tel que LIGO) : Adopter une base géante en granit pour isoler les interférences sismiques.
