Especificaciones de precisión de la plataforma multieje con cojinetes de aire
Se puede alcanzar una precisión a nivel nanométrico
1 Indicadores a nivel nanométrico (bobina móvil con base de granito de grado 000 / rejilla nanométrica de motor lineal)
Precisión de posicionamiento: ±0,05 μm (50 nm) ~ ±0,2 μm (200 nm)
Repetibilidad: 10 nm ~ 50 nm
Rectitud en un solo eje: ≤0,5 μm/m
Tamaño mínimo del paso: hasta 5 nm
2. Condiciones esenciales para la puesta en práctica
Base: granito negro de Jinan de grado 000, a temperatura constante de 20 ± 1 ℃, envejecido y sometido a un tratamiento de alivio de tensiones;
Cojinete neumático: cojinete neumático poroso, película de aire de 10 a 15 μm, fuente de aire limpio y seco;
Comentarios: Resolución de la rejilla: 1 nm/5 nm;
Entorno: Libre de polvo, base VC-E de vibración ultrabaja.
3. Configuración convencional de grado 00
Se sitúa principalmente en el rango submicrométrico (0,3~1 μm) y se utiliza sobre todo para la inspección de pantallas y placas de circuito impreso; no alcanza el rango nanométrico.
4 Aplicaciones
Plataformas a escala nanométrica: pruebas de obleas, litografía, acoplamiento óptico y equipos de investigación científica a escala nanométrica.
