Día: 03/13/2026

Los grados de precisión de las plataformas aerodinámicas de precisión (plataformas aerodinámicas de granito) se clasifican generalmente en la industria en dos sistemas: precisión de movimiento y referencia plana I. Grado de precisión de la plataforma de granito (Grado de metrología)Este es el grado base, que determina la precisión de la superficie de referencia:TablaGrado Planitud (Típica) Equipos aplicablesGrado 000 ≤ 2 μm/m² MMC de ultra alta precisión, inspección de semiconductores,...

000 Grade Granite Air Bearing Platform Equipos típicos adecuadosI. Equipos de alta gama para semiconductores y paneles (campo principal)Equipos de litografíaPlataformas de alineación de litografíaMáquinas de inspección de obleas, prensas de obleasMedición de películas finas de semiconductores, perfilómetrosMáquinas de pegado de chips, equipos de flip chipMicroinspección de pantallas planas (OLED/LCD), equipos de reparación por láserII. Instrumentos de medición de ultraprecisiónMáquinas de medición por coordenadas de ultraprecisión (MMC)Plataformas de medición por láserPerfilómetros de alta precisión,...