¿Cuáles son las ventajas de las plataformas flotantes de mármol?
- Gran estabilidad y capacidad de absorción de impactos
Las plataformas neumáticas Mar están equipadas con bases de granito natural o mármol artificial, con un coeficiente de dilatación térmica extremadamente bajo y una excelente capacidad de absorción de impactos. En comparación con las plataformas metálicas tradicionales, las bases de mármol absorben eficazmente las vibraciones de alta frecuencia, garantizando la estabilidad absoluta de los equipos durante las operaciones micrométricas o incluso nanométricas. - Flotador de aire sin fricción
La plataforma está equipada con cojinetes neumáticos de alta precisión, que utilizan aire comprimido para formar una película de aire uniforme, consiguiendo un movimiento **sin fricción y sin desgaste. Esta tecnología no sólo prolonga significativamente la vida útil de los equipos, sino que también elimina el error de retorno y el efecto stick-slip causados por las guías mecánicas tradicionales, haciendo que el movimiento sea más suave y preciso. - Precisión de posicionamiento nanométrica
Combinada con motores lineales de alta resolución o sistemas de servoaccionamiento, la plataforma flotante de mármol de Bellkin puede lograr -Precisión de posicionamiento repetido de nivel micrométrico o incluso nanométrico., que cumplen los estrictos requisitos de las industrias de litografía de semiconductores, mecanizado de ultraprecisión y detección óptica. - Diseño modular para una adaptación flexible
La plataforma admite conexión multieje y puede personalizarse en sistemas de uno, dos o varios ejes según las necesidades del cliente. También es compatible con diversos sensores, componentes ópticos y equipos de automatización, por lo que se integra fácilmente en las líneas de producción o los sistemas de I+D existentes. - ¿Qué es una plataforma Airearing de granito?
Una plataforma de granito con cojinetes de aire es un sistema de control de movimiento de alta precisión que emplea granito natural o mármol artificial como base e integra cojinetes de aire (guías de aire) para lograr un movimiento de precisión sin fricción y altamente estable. Se utiliza ampliamente en la fabricación de semiconductores, la inspección óptica, la medición de precisión, el procesamiento micro-nano y otros campos. Es uno de los componentes principales de los equipos de alta gama, como las máquinas de litografía, las máquinas de medición de tres coordenadas y los equipos de procesamiento láser. - Componentes básicos1. Base de granito/mármol
- Fabricado en granito natural de alta estabilidad o mármol artificial, tiene un bajo coeficiente de dilatación térmica, alta rigidez, gran resistencia a los golpes, La plataforma no se ve afectada por los cambios de temperatura ni las vibraciones externas.
- Cojinetes neumáticos (guías flotantes de aire)
- Formar una película de aire de tamaño micro** entre las piezas móviles y la base mediante aire comprimido, consiguiendo sin fricción ni desgaste movimiento de suspensión.
- Sistema de accionamiento
- Normalmente utiliza motores lineales o servomotores de alta precisión para garantizar una precisión de posicionamiento nanométrica.
- Sistema de control
- Combinado con interferómetros enc o láser de alta resolución, consigue un control de bucle cerrado que garantiza la precisión del movimiento y un posicionamiento repetible.
- Principio de funcionamiento
La tecnología central de la plataforma de granito de flotación neumática reside en los cojinetes neumáticos (tecnología de flotación neumática), y su principio de funcionamiento es el siguiente: - Suministro de aire comprimido
- Un aire externo (como un compresor de aire sin aceite) proporciona aire comprimido estable y limpio (normalmente a una presión de 0,3~0,6 MPa).
. Formación de la película de aire - El aire comprimido entra en los cojinetes de aire a través de orificios de estrangulación de precisión, formando un película de aire de tamaño micro uniforme (normalmente 5~20 μ) entre las piezas móviles (como la mesa deslizante) y la base de granito, permitiendo que las piezas móviles “floten” por encima de la base.
- Movimiento de fricción cero- Debido a la presencia de la película de aire, hay sin contacto físico entre las piezas móviles y la base, eliminando la fricción, el desgaste y el arrastre (efecto stick-ip) de las guías mecánicas tradicionales, lo que hace que el movimiento sea más suave y preciso.
- Posicionamiento de alta precisión
- Combinado con motores lineales o servoaccionamientos y sistemas de retroalimentación de resolución (como escalas de rejilla o interferómetros láser), puede lograr nanómetro (nm) o submicrómetro (0,1 μm) precisión.
