مواصفات دقة المنصة متعددة المحاور ذات المحامل الهوائية
يمكن تحقيق دقة على مستوى النانومتر
1 مؤشرات على مستوى النانومتر (ملف صوتي بقاعدة من الجرانيت من الدرجة 000 / شبكة نانومترية لمحرك خطي)
دقة تحديد الموضع: ±0.05 ميكرومتر (50 نانومتر) ~ ±0.2 ميكرومتر (200 نانومتر)
التكرار: 10 نانومتر ~ 50 نانومتر
استقامة المحور الواحد: ≤0.5 ميكرومتر/متر
الحد الأدنى لحجم الخطوة: حتى 5 نانومتر
2. الشروط الأساسية للتنفيذ
القاعدة: جرانيت جينان الأسود من الدرجة 000، بدرجة حرارة ثابتة تبلغ 20±1 درجة مئوية، خضع لعملية تقادم وتخفيف التوتر؛;
محمل هوائي: محمل هوائي مسامي، طبقة هوائية بسماكة 10~15 ميكرومتر، مصدر هواء نظيف وجاف؛;
الملاحظات: دقة الشبكة 1 نانومتر/5 نانومتر؛;
البيئة: خالية من الغبار، قاعدة VC-E ذات اهتزازات منخفضة للغاية.
3 تكوين تقليدي من الدرجة 00
تتراوح أبعادها في الغالب في نطاق أقل من الميكرون (0.3~1 ميكرومتر)، وتُستخدم بشكل أساسي لفحص شاشات العرض واللوحات الإلكترونية المطبوعة (PCB)، ولا يمكنها الوصول إلى مستوى النانومتر.
4 تطبيقات
المنصات على مستوى النانومتر: فحص الرقائق، والليثوغرافيا، والاقتران البصري، ومعدات البحث العلمي على مستوى النانومتر.
