التطبيقات الصناعية لمنصات الجرانيت ذات المحامل الهوائية في أنظمة الحركة فائقة الدقة
نظام حركة فائق الدقة: تحليل شامل للتطبيقات الصناعية لمنصة الجرانيت ذات المحامل الهوائية = قاعدة من الجرانيت الطبيعي عالية الاستقرار، ومحامل هوائية هيدروستاتيكية، ودليل محامل هوائية، ومحرك خطي، ونظام حركة متعدد المحاور ذو محرك مباشر. وهي الحامل الأساسي للتحديد الدقيق للمواقع على مستوى النانو في الصناعة الحالية، والمسح عالي السرعة الخالي من الاحتكاك، وظروف التشغيل عالية الاستقرار على المدى الطويل. وهي تحل بشكل جذري المشكلات الأربع الرئيسية…