يتم تصنيف درجات الدقة للمنصات الحاملة للهواء الدقيقة (المنصات الحاملة للهواء الجرانيتية) بشكل عام في الصناعة إلى نظامين: دقة الحركة والمرجعية المستوية
I. درجة دقة منصة الجرانيت (درجة القياس)
هذا هو التقدير الأساسي الذي يحدد مدى دقة السطح المرجعي: الجدول
تسطيح الدرجة (نموذجي) المعدات القابلة للتطبيق
درجة 000 ≤ 2 ≤ 2 ميكرومتر/م² CMM فائقة الدقة، وفحص أشباه الموصلات، ومنصات حاملة للهواء مضاءة
الصف 00 ≤ 3 ميكرومتر/م² CMM عالية الدقة، ومنصات الحركة الدقيقة الحاملة للهواء، وطاولات الفحص
الدرجة 0 ≤ 5 ≤ 5 ميكرومتر/م² ماكينات قياس عامة، مناضد عمل دقيقة
الدرجة 1 ≤ 10 ميكرومتر/م² منصات الفحص، منصات الوسم
تستخدم اللوحة الحاملة للهواء حصرياً: الصف 00، الصف 000
II. درجة دقة منصة الحركة الحاملة للهواء (معيار الصناعة)
مقسّمة إلى 4 مستويات بناءً على القدرة على تحديد المواقع وقابلية التكرار، والتي تتوافق مباشرةً مع مستويات المعدات:
- مستوى الدقة العام
قابلية التكرار: ± 1 ميكرومتر
تحديد المواقع أكوراالتطبيقات: الفحص العام، والمحاذاة شبه الأوتوماتيكية - مستوى الدقة العالية (الأكثر شيوعًا)
التكرار: ± 0.5 ميكرومتر
دقة تحديد المواقع: ± 1 ～ 2 ميكرون
التطبيقات: منصات الجرانيت القياسية الحاملة للهواء، و CMM المتطورة، والفحص البصري - مستوى دقة عالية جداً
التكرار: ± 0.1 ～ 0.2 ميكرومتر
دقة تحديد المواقع: ± 0.5 ميكرومتر
التطبيقات: فحص الواجهة الأمامية لأشباه الموصلات، وقياس التداخل بالليزر، والمحاذاة النانوية
4-مستوى 4.أنو
التكرار: ±10 ～ 50 نانومتر
دقة تحديد المواقع: في حدود ± 0.1 ميكرومتر
التطبيقات: الطباعة الحجرية، والدقة الكمية، والطباعة الحجرية
ثالثًا. درجات استقامة المنصة الحاملة للهواء وتعامدها (حكم حدسي)
استقامة المنصة الحاملة للهواء المتطورة: 0.5 ～ 0.5 ميكرومتر/300 مم
التعامد: ± 1 ～ 3 ميكرومتر/متر
سلاسة الحركة: لا زحف، لا اهتزاز، لا ارتعاش
رابعًا. أبسط طريقة للحفظ (تستخدم مباشرة للاقتباس / الاختيار)
إمكانية التكرار من الدرجة 000 جرانيت ± 0.1 ～ 0.5 ميكرومتر = منصة هوائية فائقة الدقة
إمكانية تكرار الجرانيت من الدرجة 00 ± 0.5 ～ 1 ميكرومتر = منصة عالية الدقة حاملة للهواء
أما ما دون ذلك، فلا يُعتبر بشكل عام منصة دقة.
