{"id":3057,"date":"2026-07-06T11:43:56","date_gmt":"2026-07-06T03:43:56","guid":{"rendered":"https:\/\/jtlcnc.com\/?p=3057"},"modified":"2026-07-06T16:15:12","modified_gmt":"2026-07-06T08:15:12","slug":"industrial-applications-of-granite-air-bearing-platforms-in-ultra-precision-motion-systems","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/jtlcnc.com\/ru\/2026\/07\/06\/industrial-applications-of-granite-air-bearing-platforms-in-ultra-precision-motion-systems\/","title":{"rendered":"\u041f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0442\u0444\u043e\u0440\u043c \u043d\u0430 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0434\u0448\u0438\u043f\u043d\u0438\u043a\u0430\u0445 \u0432 \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0442\u043e\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430\u0445 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f"},"content":{"rendered":"<p class=\"wp-block-paragraph\">\u0421\u0432\u0435\u0440\u0445\u0442\u043e\u0447\u043d\u0430\u044f \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f: \u0432\u0441\u0435\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u043d\u0438\u0439 \u0430\u043d\u0430\u043b\u0438\u0437 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0442\u0444\u043e\u0440\u043c \u043d\u0430 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0434\u0448\u0438\u043f\u043d\u0438\u043a\u0430\u0445<br>\u041f\u043b\u0430\u0442\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430 \u043d\u0430 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0434\u0448\u0438\u043f\u043d\u0438\u043a\u0430\u0445 \u00abite\u00bb = \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0438\u0437 \u043d\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0442\u0430, \u0433\u0438\u0434\u0440\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043e\u0434\u0448\u0438\u043f\u043d\u0438\u043a\u0438, \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0449\u0438\u0435 \u043d\u0430 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0434\u0448\u0438\u043f\u043d\u0438\u043a\u0430\u0445, \u043b\u0438\u043d\u0435\u0439\u043d\u044b\u0439 \u0434\u0432\u0438\u0433\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c \u0441 \u043f\u0440\u044f\u043c\u044b\u043c \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u043e\u043c \u2014 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u043e\u0441\u0435\u0432\u0430\u044f \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f. \u042d\u0442\u043e \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u0430\u044f \u043f\u043b\u0430\u0442\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u0437\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435, \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u043a\u0430\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0431\u0435\u0437 \u0442\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043e\u043b\u0433\u043e\u0441\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e\u0439 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0438\u0445 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u0439. \u041e\u043d\u0430 \u043a\u0430\u0440\u0434\u0438\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0440\u0435\u0448\u0430\u0435\u0442 \u0447\u0435\u0442\u044b\u0440\u0435 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u044b, \u0441\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0441 \u043f\u0440\u0435\u0446\u0438\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u043c \u043f\u0435\u0440\u0435\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c: \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0434\u0440\u0435\u0439\u0444, \u0432\u0438\u0431\u0440\u0430\u0446\u0438\u044e, \u043f\u043e\u0433\u0440\u0435\u0448\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043b\u044e\u0444\u0442\u0430 \u0438 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442 \u00ab\u043f\u0440\u0438\u043b\u0438\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f-\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f\u00bb. \u041e\u043d\u0430 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0448\u0435\u0441\u0442\u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0441\u043b\u044f\u0445 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438: \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439, \u043e\u043f\u0442\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439, \u043f\u0440\u0435\u0446\u0438\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u0438\u0439, \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u043e\u0439 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438, \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u043f\u0430\u043d\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0434\u0438\u0441\u043f\u043b\u0435\u0435\u0432 \u0438 \u0430\u044d\u0440\u043e\u043a\u043e\u0441\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439, \u0441 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u0432\u0438\u0431\u0440\u043e\u0438\u0437\u043e\u043b\u044f\u0446\u0438\u0438 Belkin\u2026<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u041a\u0440\u0443\u043f\u043d\u043e\u0433\u0430\u0431\u0430\u0440\u0438\u0442\u043d\u0430\u044f \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0442\u043d\u0430\u044f \u043f\u043e\u0440\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u043f\u043b\u0430\u0442\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430 \u043d\u0430 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0434\u0448\u0438\u043f\u043d\u0438\u043a\u0430\u0445<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u041c\u043d\u043e\u0433\u043e\u043e\u0441\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u044c \u043d\u0430 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0434\u0448\u0438\u043f\u043d\u0438\u043a\u0430\u0445 \u0438\u0437 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0442\u0430<\/p>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">\u041d\u0430\u043d\u043e\u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435\u0432\u0430\u044f \u043f\u043b\u0430\u0442\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430 XY \u043d\u0430 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0434\u0448\u0438\u043f\u043d\u0438\u043a\u0430\u0445<br>I. \u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u0437\u0438\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 (\u0443\u043d\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0434\u043e\u0441\u0442\u043e\u0438\u043d\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0442\u043d\u043e\u0439 \u043c\u0443\u0444\u0442\u044b \u043d\u0430 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0434\u0448\u0438\u043f\u043d\u0438\u043a\u0430\u0445)<\/p>\n\n\n\n<ol class=\"wp-block-list\">\n<li>\u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f<br>\u041d\u0438\u0437\u043a\u0438\u0439 \u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0441\u0448\u0438\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f: 0,5\u20131,0\u00d710\u207b\u2076\/\u2103, \u0447\u0442\u043e \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0432\u0441\u0435\u0433\u043e 1\/10 \u043e\u0442 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f \u0441\u0442\u0430\u043b\u0438; \u0441\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0440\u0438 \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0435 \u0432 \u0446\u0435\u0445\u0435 \u00b10,1\u2103 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 0,1 \u043d\u043c, \u0447\u0442\u043e \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0443\u0435\u0442 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f\u043c \u043d\u0430\u043d\u043e\u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u044f \u0432 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u0438 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0444\u0435\u0440\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0438 zh.zhhimg\u2026.;<br>\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0435 \u0433\u0430\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432\u0438\u0431\u0440\u0430\u0446\u0438\u0439: \u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442 \u0433\u0430\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u0435\u0441\u0442\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043f\u043e\u0440 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 0,0\u20130,1, \u043f\u043e\u0433\u043b\u043e\u0449\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 90% \u0432\u043d\u0435\u0448\u043d\u0438\u0445 \u0432\u0438\u0431\u0440\u0430\u0446\u0438\u0439 \u043e\u0442 \u0433\u0440\u0443\u043d\u0442\u0430, \u043e\u0442\u0441\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 \u0440\u0435\u0437\u043e\u043d\u0430\u043d\u0441\u0430 \u043f\u0440\u0438 \u0434\u0432\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043d\u0430 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0445 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044f\u0445;<br>\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u0436\u0435\u0441\u0442\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c, \u043e\u0442\u0441\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0435\u043d\u043d\u0438\u0445 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439, \u0438\u0437\u043d\u043e\u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u0439\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u0443\u0441\u0442\u043e\u0439\u0447\u0438\u0432\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a \u0438\u0437\u043d\u043e\u0441\u0443; \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0431\u044b\u0442\u044c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d\u0430 \u0441 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0430\u043d\u0442\u0438\u0441\u0442\u0430\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0438 \u043f\u044b\u043b\u0435\u043e\u0442\u0442\u0430\u043b\u043a\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0435\u0439 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0438, \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0434\u043b\u044f \u0447\u0438\u0441\u0442\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u0439 \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0430 100 \/ \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0430 1000;<br>\u0422\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430\u0442\u044c 0,3\u20130,5 \u043c\u043a\u043c\/\u043c, \u0446\u0435\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u043b\u0438\u0442\u0430\u044f \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u044f, \u043e\u0442\u0441\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 \u0434\u0435\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u0440\u0438 \u0434\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c \u044d\u043a\u0441\u043f\u043b\u0443\u0430\u0442\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u043c \u0441\u0440\u043e\u043a\u0435.<\/li>\n\n\n\n<li>\u041f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u0445 \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0449\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0438 \u0434\u0432\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u0438<br>\u041f\u043d\u0435\u0432\u043c\u0430\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043f\u043e\u0434\u0432\u0435\u0441\u043a\u0430 (\u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u0430 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0434\u0443\u0448\u043a\u0438 5\u20138 \u043c\u043a\u043c), \u043e\u0442\u0441\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u0430, \u043e\u0442\u0441\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 \u0442\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043e\u0442\u0441\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 \u0438\u0437\u043d\u043e\u0441\u0430, \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0438\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0435\u0442 \u044f\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u00ab\u043f\u0440\u0438\u043b\u0438\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f-\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f\u00bb \u0438 \u043b\u044e\u0444\u0442\u0430 \u0432 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0449\u0438\u0445;<br>\u043f\u0440\u044f\u043c\u043e\u0439 \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434 \u0434\u0432\u0438\u0433\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f \u0441 \u0440\u0435\u0448\u0435\u0442\u043a\u043e\u0439 \u0438 \u0437\u0430\u043c\u043a\u043d\u0443\u0442\u044b\u043c \u043a\u043e\u043d\u0442\u0443\u0440\u043e\u043c: \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 1 \u043d\u043c, \u043f\u043e\u0432\u0442\u043e\u0440\u044f\u0435\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u00b150\u2013100 \u043d\u043c, \u043f\u0440\u044f\u043c\u043e\u043b\u0438\u043d\u0435\u0439\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u22640,5 \u043c\u043a\u043c\/\u043c, \u043a\u043e\u043b\u0435\u0431\u0430\u043d\u0438\u044f \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u0438 &lt;0,011 TP3T;<br>\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u0434\u0438\u043d\u0430\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430: \u0443\u0441\u043a\u043e\u0440\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0431\u0435\u0437 \u043d\u0430\u0433\u0440\u0443\u0437\u043a\u0438 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430\u0442\u044c 3G, \u0447\u0440\u0435\u0437\u0432\u044b\u0447\u0430\u0439\u043d\u043e \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u0441\u0438\u043d\u0445\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0434\u043b\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u043a\u0430\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043f\u043e\u0437\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0441 \u0432\u043e\u0437\u0432\u0440\u0430\u0442\u043d\u043e-\u043f\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0434\u0432\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c;<br>\u0411\u0435\u0441\u0448\u0443\u043c\u043d\u0430\u044f \u0438 \u0434\u043e\u043b\u0433\u043e\u0432\u0435\u0447\u043d\u0430\u044f \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430, \u043a\u0440\u0443\u0433\u043b\u043e\u0441\u0443\u0442\u043e\u0447\u043d\u0430\u044f \u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0440\u0435\u0431\u043e\u0439\u043d\u0430\u044f \u044d\u043a\u0441\u043f\u043b\u0443\u0430\u0442\u0430\u0446\u0438\u044f, \u043a\u0440\u0430\u0439\u043d\u0435 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u0435 \u0437\u0430\u0442\u0440\u0430\u0442\u044b \u043d\u0430 \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043e\u0431\u0441\u043b\u0443\u0436\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435. \u041f\u0435\u043a\u0438\u043d\u0441\u043a\u0430\u044f \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f \u00ab\u041c\u0443\u0444\u044d\u043d\u043a\u0435\u00bb\u2026<\/li>\n\n\n\n<li>\u041d\u0435\u0437\u0430\u043c\u0435\u043d\u0438\u043c\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u0446\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u043e\u0431\u044a\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f<br>\u0411\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u043e\u0434\u043d\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u044e \u0437\u0430\u0434\u0430\u0447, \u0441\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0441 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u0435\u0439 (\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0442) \u0438 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043f\u0435\u0440\u0435\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f (\u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043e\u0434\u0448\u0438\u043f\u043d\u0438\u043a\u0438), \u044d\u0442\u043e \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u043d\u043e\u0435 \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0435 \u043d\u0435 \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0442\u044c \u043d\u0438 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0449\u0438\u0435, \u043d\u0438 \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0442\u043e\u043b\u044b \u0441 \u043f\u043e\u0434\u0448\u0438\u043f\u043d\u0438\u043a\u0430\u043c\u0438 \u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043d\u0438 \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0430\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0442\u0444\u043e\u0440\u043c\u044b \u043d\u0430 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0434\u0448\u0438\u043f\u043d\u0438\u043a\u0430\u0445.<\/li>\n<\/ol>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">II. \u041f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e \u043e\u0442\u0440\u0430\u0441\u043b\u044f\u043c (\u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f \u044d\u043a\u0441\u043f\u043b\u0443\u0430\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438, \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0446\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c)<br>(I) \u041f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 (\u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u0435\u0439\u0448\u0438\u0439 \u0440\u044b\u043d\u043e\u043a \u0441\u0431\u044b\u0442\u0430, \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u0430 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432\u0430\u044f \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c)<\/p>\n\n\n\n<ol class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0420\u0430\u0431\u043e\u0447\u0438\u0439 \u0441\u0442\u043e\u043b \u0434\u043b\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f (\u0441\u0442\u0435\u043f\u043f\u0435\u0440\u044b \u0438 \u0441\u043a\u0430\u043d\u0435\u0440\u044b EUV\/DUV)<br>\u041f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435: \u0442\u0440\u0435\u0445\u043e\u0441\u043d\u044b\u0439 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0442\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043e\u0440\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u043a XYR \u043d\u0430 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0434\u0448\u0438\u043f\u043d\u0438\u043a\u0430\u0445 \u0434\u043b\u044f \u0442\u0440\u0430\u043d\u0441\u043f\u043e\u0440\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d, \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0438\u0439 \u044d\u043a\u0441\u043f\u043e\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e \u043f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f\u0443 \u00ab\u0448\u0430\u0433-\u0441\u043a\u0430\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u00bb;<br>\u0422\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043a \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c\u0443 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0443: \u043f\u043e\u0433\u0440\u0435\u0448\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u0437\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0442\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0432\u0441\u0435\u0433\u043e \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0434\u043b\u044f 12-\u0434\u044e\u0439\u043c\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d &lt;0,2 \u043d\u043c, \u0441\u0438\u043d\u0445\u0440\u043e\u043d\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044f \u0441\u043a\u0430\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0435\u043a\u0443\u043d\u0434;<br>\u041f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e: \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0442 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043e\u0442\u0432\u0440\u0430\u0449\u0430\u0435\u0442 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0439 \u0434\u0440\u0435\u0439\u0444, \u0430 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043e\u0434\u0448\u0438\u043f\u043d\u0438\u043a \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043b\u0438\u043d\u0435\u0439\u043d\u043e\u0435 \u0441\u043a\u0430\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0431\u0435\u0437 \u0442\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0447\u0442\u043e \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u043c\u0443\u044e \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0448\u0438\u0440\u0438\u043d\u0443 \u043b\u0438\u043d\u0438\u0438 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c\u044b; \u044d\u0442\u043e \u0431\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u044f \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u0430\u044f \u0432 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438 ASML \u0438 \u043e\u0442\u0435\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0430\u0445.<\/li>\n\n\n\n<li>\u041a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \/ \u0441\u043a\u0430\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 (AOI \u0432 \u0441\u0432\u0435\u0442\u043b\u043e\u043c \u0438 \u0442\u0451\u043c\u043d\u043e\u043c \u043f\u043e\u043b\u0435, \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e-\u043b\u0443\u0447\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c)<br>\u041e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435: \u0441\u0442\u0430\u043d\u043a\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0432\u0438\u0437\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044f \u0432\u043d\u0435\u0448\u043d\u0435\u0433\u043e \u0432\u0438\u0434\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d, \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u044b \u0434\u043b\u044f \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a, \u0441\u043a\u0430\u043d\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435 \u0441\u0442\u043e\u043b\u0438\u043a\u0438 \u0434\u043b\u044f \u043e\u0431\u043d\u0430\u0440\u0443\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 \u0432 \u0432\u0438\u0434\u0435 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446;<br>\u0423\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f \u044d\u043a\u0441\u043f\u043b\u0443\u0430\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438: \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u043d\u043e\u0435 \u0441\u043a\u0430\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u0445 \u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u0435\u0439, \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043d\u0430 \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432, \u043f\u0440\u0438 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c \u0434\u0430\u0436\u0435 \u043d\u0435\u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043b\u0435\u0431\u0430\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u044f\u0442 \u043a \u043f\u043e\u044f\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044e \u043e\u0440\u0435\u043e\u043b\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u0438;<br>\u041a\u043e\u043d\u0444\u0438\u0433\u0443\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f \u043f\u043b\u0430\u0442\u0444\u043e\u0440\u043c\u044b: \u0434\u0432\u0443\u0445\u043e\u0441\u043d\u0430\u044f \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0442\u043d\u0430\u044f \u043f\u043b\u0430\u0442\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430 \u0441 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043f\u043e\u0434\u0448\u0438\u043f\u043d\u0438\u043a\u0430\u043c\u0438 \u0438 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u043c \u0445\u043e\u0434\u043e\u043c, \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u043d\u0430\u044f \u0444\u0438\u043a\u0441\u0430\u0446\u0438\u044f \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d, \u0447\u0438\u0441\u0442\u0430\u044f \u0430\u043d\u0442\u0438\u0441\u0442\u0430\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u0430\u044f \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0442\u043d\u0430\u044f \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c;<br>\u041f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430: \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u0430 \u043f\u0440\u0438 \u043e\u0431\u043d\u0430\u0440\u0443\u0436\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 &gt;8%, \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043a\u043e\u043b\u0435\u0431\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438 \u0432 \u0442\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 30 \u0434\u043d\u0435\u0439 &lt;0,5 \u043c\u043a\u043c.<\/li>\n\n\n\n<li>\u0421\u0431\u043e\u0440\u043a\u0430 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c: \u043f\u0440\u0438\u043f\u0430\u0439\u043a\u0430 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432, \u043f\u0440\u0435\u0446\u0438\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0434\u043e\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435, \u0440\u0430\u0441\u043a\u0440\u043e\u0439 \u0438 \u0440\u0435\u0437\u043a\u0430<br>\u0421\u043a\u043b\u0435\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 \/ \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f \u00ab\u0444\u043b\u0438\u043f-\u0447\u0438\u043f\u00bb: \u0432\u044b\u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 \u0441 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u00b10,1 \u043c\u043a\u043c, \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0432\u043e\u0437\u0432\u0440\u0430\u0442\u043d\u043e-\u043f\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0434\u0432\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0431\u0435\u0437 \u0441\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f;<br>\u041c\u0430\u0448\u0438\u043d\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043d\u0430\u0440\u0435\u0437\u043a\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d: \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0442\u043d\u043e\u0435 \u0434\u0435\u043c\u043f\u0444\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0434\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0432\u0438\u0431\u0440\u0430\u0446\u0438\u044e \u0440\u0435\u0436\u0443\u0449\u0435\u0433\u043e \u0448\u043f\u0438\u043d\u0434\u0435\u043b\u044f, \u0448\u0435\u0440\u043e\u0445\u043e\u0432\u0430\u0442\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a\u0440\u0430\u0435\u0432 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d Ra &lt;1 \u043c\u043a\u043c;<br>\u041d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043a\u043b\u0435\u044f: \u0421\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0442\u0440\u0430\u0435\u043a\u0442\u043e\u0440\u0438\u044f \u0434\u0432\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u0438 \u043a\u043b\u0435\u044f, \u0438\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044e\u0449\u0430\u044f \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u044b \u0432 \u0432\u0438\u0434\u0435 \u043e\u0431\u0440\u044b\u0432\u043e\u0432 \u0438 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043b\u0438\u0432\u0430 \u043a\u043b\u0435\u044f.<\/li>\n\n\n\n<li>\u041f\u0440\u0435\u0446\u0438\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0442\u0444\u043e\u0440\u043c\u044b \u0434\u043b\u044f \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a<br>\u041d\u0435\u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u0435 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0442\u043d\u044b\u0435 \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u0438 \u043d\u0430 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0434\u0448\u0438\u043f\u043d\u0438\u043a\u0430\u0445, \u0440\u0430\u0441\u043f\u043e\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0438 \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u043d\u044b\u0445 \u043a\u0430\u043c\u0435\u0440, \u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b \u0441 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435\u043c \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u044b\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043f\u0440\u0438\u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u0432 \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445, \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432\u044b\u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a.<br>(II) \u041e\u0442\u0440\u0430\u0441\u043b\u044c \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0439 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0438 \u043e\u043f\u0442\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438<\/li>\n\n\n\n<li>\u041e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0438 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0441\u0432\u043e\u0431\u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u0444\u043e\u0440\u043c\u044b \/ \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0433\u043b\u0430\u0434\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439<br>\u041c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430: \u0442\u043e\u043a\u0430\u0440\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0442\u0430\u043d\u043a\u0438 \u0441 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0442\u043e\u0447\u0435\u0447\u043d\u044b\u043c \u0430\u043b\u043c\u0430\u0437\u043d\u044b\u043c \u0440\u0435\u0437\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c, \u0441\u0442\u0430\u043d\u043a\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0448\u043b\u0438\u0444\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0430\u0441\u0444\u0435\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439 \u0441 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0438\u043c\u0438 \u0441\u0442\u043e\u043b\u0430\u043c\u0438 \u043d\u0430 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043d\u0435\u0432\u043c\u043e\u043f\u043e\u0434\u0448\u0438\u043f\u043d\u0438\u043a\u0430\u0445;<br>\u041a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c: \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u044b\u0435 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0444\u0435\u0440\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u044b, \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0444\u0438\u043b\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u044b, \u0441\u043a\u0430\u043d\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435 \u0441\u0442\u043e\u043b\u0438\u043a\u0438 \u0441 \u0434\u0435\u0442\u0435\u043a\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u0432\u043e\u043b\u043d\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0444\u0440\u043e\u043d\u0442\u0430;<br>\u0413\u0430\u0440\u0430\u043d\u0442\u0438\u044f \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a \u0438\u043d\u0434\u0438\u043a\u0430\u0442\u043e\u0440\u0430: \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0444\u043e\u0440\u043c\u044b \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043b\u0443\u0447\u0448\u0435, \u0447\u0435\u043c \u03bb\/20 (\u043b\u0430\u0437\u0435\u0440 632,8 \u043d\u043c), \u043e\u0442\u0441\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 \u043f\u0443\u043b\u044c\u0441\u0430\u0446\u0438\u0439, \u0432\u044b\u0437\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0432\u0438\u0431\u0440\u0430\u0446\u0438\u0435\u0439;<br>\u041d\u0438\u0436\u0435 \u043f\u043e \u0446\u0435\u043f\u043e\u0447\u043a\u0435: \u0430\u0432\u0442\u043e\u043c\u043e\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043b\u0438\u043d\u0437\u044b, \u043e\u0431\u044a\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u044b \u0434\u043b\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0446\u0438\u0438, \u0430\u0441\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0440\u0435\u0444\u043b\u0435\u043a\u0442\u043e\u0440\u044b, \u0438\u043d\u0444\u0440\u0430\u043a\u0440\u0430\u0441\u043d\u044b\u0435 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u044b.<\/li>\n\n\n\n<li>\u041f\u0440\u044f\u043c\u0430\u044f \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u0430\u044f \u0437\u0430\u043f\u0438\u0441\u044c, \u0433\u043e\u043b\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044f, \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043c\u0430\u0441\u043e\u043a<br>\u041a\u0440\u0443\u043f\u043d\u043e\u0433\u0430\u0431\u0430\u0440\u0438\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0442\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0442\u0444\u043e\u0440\u043c\u044b \u0441 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043f\u043e\u0434\u0448\u0438\u043f\u043d\u0438\u043a\u0430\u043c\u0438 \u0438 \u043f\u043e\u0440\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u0435\u0439, \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0438\u0435 \u0441\u043a\u0430\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0441 \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0438 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u043c \u0445\u043e\u0434\u043e\u043c, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u044f\u043c\u043e\u0439 \u0437\u0430\u043f\u0438\u0441\u0438 \u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u043e\u0432 \u043c\u0430\u0441\u043e\u043a \u0441 \u0448\u0438\u0440\u0438\u043d\u043e\u0439 \u043b\u0438\u043d\u0438\u0439 \u0432 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u0430\u0445 \u0438 \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u0430\u0445.<\/li>\n\n\n\n<li>MEMS, \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0435 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c\u044b, \u0442\u0435\u0441\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432<br>\u0412\u044b\u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0440\u0430\u043a\u0442, \u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438 \u043c\u043e\u043d\u0442\u0430\u0436; \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u043e\u0441\u0435\u0432\u044b\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0442\u0444\u043e\u0440\u043c\u044b \u043d\u0430 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0434\u0448\u0438\u043f\u043d\u0438\u043a\u0430\u0445 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u0432\u044b\u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u043a\u0442\u0430 \u0441 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0434\u043e \u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0430, \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0430\u044f \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f.<br>(III) \u0422\u043e\u0447\u043d\u0430\u044f \u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f \u0438 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 (\u043a\u043e\u043e\u0440\u0434\u0438\u043d\u0430\u0442\u043d\u043e-\u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0430\u0448\u0438\u043d\u044b \u0438 \u043a\u0430\u043b\u0438\u0431\u0440\u043e\u0432\u043a\u0430 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432)<\/li>\n\n\n\n<li>\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u043d\u0430\u044f \u043a\u043e\u043e\u0440\u0434\u0438\u043d\u0430\u0442\u043d\u043e-\u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u043c\u0430\u0448\u0438\u043d\u0430 (\u041a\u0418\u041c) \u043c\u043e\u0441\u0442\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0442\u0438\u043f\u0430<br>\u0422\u0440\u0435\u0445\u043e\u0441\u043d\u044b\u0435 \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0449\u0438\u0435 \u043d\u0430 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0434\u0448\u0438\u043f\u043d\u0438\u043a\u0430\u0445 \u0441 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u043c \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0442\u043d\u044b\u043c \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u2014 \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u0430\u044f \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043a\u0442\u0430\u0446\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u043e\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u0435\u0439 Hexagon \u0438 Zeiss;<br>\u0422\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c: \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u0438\u0439 \u00b10,3 \u043c\u043a\u043c\/\u043c, \u043f\u043e\u0432\u0442\u043e\u0440\u044f\u0435\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u00b10,1 \u043c\u043a\u043c;<br>\u041e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f: \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u043b\u043e\u043f\u0430\u0442\u043e\u043a \u0430\u0432\u0438\u0430\u043a\u043e\u0441\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0443\u0440\u0431\u0438\u043d, \u0444\u043e\u0440\u043c \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432, \u043f\u0440\u0435\u0446\u0438\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0437\u0443\u0431\u0447\u0430\u0442\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043b\u0435\u0441 \u0438 \u0434\u0435\u0442\u0430\u043b\u0435\u0439 \u043c\u0435\u0434\u0438\u0446\u0438\u043d\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f.<br>\u0413\u0440\u0430\u043d\u0438\u0442\u043d\u0430\u044f \u043f\u043b\u0430\u0442\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430 \u043d\u0430 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0434\u0448\u0438\u043f\u043d\u0438\u043a\u0430\u0445 \u0441\u043e \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0434\u043b\u0438\u043d\u043d\u044b\u043c \u0445\u043e\u0434\u043e\u043c (\u0430\u044d\u0440\u043e\u043a\u043e\u0441\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043e\u0442\u0440\u0430\u0441\u043b\u044c \/ \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u043e\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0442\u043d\u044b\u0445 \u044d\u043a\u0440\u0430\u043d\u043e\u0432)<\/li>\n\n\n\n<li>\u041b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u044b\u0439 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0444\u0435\u0440\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440, \u0448\u043a\u0430\u043b\u0430 \u0440\u0435\u0448\u0435\u0442\u043a\u0438, \u043a\u0430\u043b\u0438\u0431\u0440\u043e\u0432\u043e\u0447\u043d\u0430\u044f \u043f\u043b\u0430\u0442\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u0430 \u0441\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f<br>\u0421\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u043e\u0435 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u0438\u0438, \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0441\u043b\u0435\u0436\u0438\u0432\u0430\u0435\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u043e\u0432; \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0442\u043d\u044b\u0439 \u0438\u0437\u043e\u043b\u044f\u0442\u043e\u0440, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043e\u0442\u0432\u0440\u0430\u0449\u0430\u044e\u0449\u0438\u0439 \u0432\u043b\u0438\u044f\u043d\u0438\u0435 \u0432\u043d\u0435\u0448\u043d\u0438\u0445 \u0444\u0430\u043a\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432; \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043e\u0434\u0448\u0438\u043f\u043d\u0438\u043a, \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0438\u0439 \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u043d\u0443\u044e \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u044b\u0439 \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u0445\u043e\u0434.<br>(IV) \u041e\u0442\u0440\u0430\u0441\u043b\u044c \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e- \u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438<\/li>\n\n\n\n<li>\u0421\u0432\u0435\u0440\u0445\u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u0430\u044f \u043f\u0440\u0435\u0446\u0438\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u0430\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0440\u0435\u0437\u043a\u0430 \u0438 \u0441\u0432\u0435\u0440\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u0430<\/li>\n\n\n\n<li>\u041c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0441\u0442\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u043a\u0430\u043c\u0435\u0440 \u043c\u043e\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u043b\u0435\u0444\u043e\u043d\u043e\u0432, \u0433\u043b\u0443\u0445\u0438\u0435 \u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0441\u0442\u0438\u044f \u0432 \u043f\u0435\u0447\u0430\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0442\u0430\u0445, \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a \u0438 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u0441\u0442\u0435\u043a\u043b\u0430; \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u043d\u043e\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0431\u0435\u0437 \u043a\u043e\u043b\u0435\u0431\u0430\u043d\u0438\u0439, \u043f\u043e\u0433\u0440\u0435\u0448\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043e\u043a\u0440\u0443\u0433\u043b\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0441\u0442\u0438\u0439 &lt; 0,5 \u043c\u043a\u043c.<\/li>\n\n\n\n<li>\u041b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u0430\u044f \u043c\u0430\u0440\u043a\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0430 \u0444\u043e\u0442\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0430\u043d\u0435\u043b\u0435\u0439 \u0438 \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a \u043f\u0435\u0440\u043e\u0432\u0441\u043a\u0438\u0442\u0430<\/li>\n\n\n\n<li>\u041f\u043e\u0440\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u043a \u0441 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0442\u043d\u044b\u043c \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u043c \u043f\u043e\u0434\u0448\u0438\u043f\u043d\u0438\u043a\u043e\u043c \u0438 \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0434\u043b\u0438\u043d\u043d\u044b\u043c \u0445\u043e\u0434\u043e\u043c 10\u201315 \u043c, \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0438\u0439 \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0435 \u0441\u043a\u0430\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0432\u0441\u0435\u0439 \u043f\u0430\u043d\u0435\u043b\u0438 \u0438 \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u0443\u044e \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0442\u043a\u0443 \u0431\u0435\u0437 \u043f\u0440\u0435\u0440\u044b\u0432\u0430\u043d\u0438\u0439 \u043b\u0438\u043d\u0438\u0438, \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0434\u043b\u044f \u043d\u0435\u043f\u0440\u0435\u0440\u044b\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043d\u0430 \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u043e\u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u043d\u044b\u0445 \u043b\u0438\u043d\u0438\u044f\u0445 \u043f\u043e \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044e \u0444\u043e\u0442\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u0435\u0439.<\/li>\n\n\n\n<li>\u041f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0440\u043a\u0430 \u0438 \u0440\u0435\u043c\u043e\u043d\u0442 \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u043f\u0430\u043d\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0434\u0438\u0441\u043f\u043b\u0435\u0435\u0432 (FPD)<\/li>\n\n\n\n<li>\u041f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0440\u043a\u0430 OLED\/LCD-\u043f\u0430\u043d\u0435\u043b\u0435\u0439 \u043d\u0430 \u043d\u0430\u043b\u0438\u0447\u0438\u0435 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 \u0442\u0438\u043f\u0430 \u00ab\u043c\u0443\u0440\u0430\u00bb, \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u043e\u0435 \u0432\u043e\u0441\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0438\u043a\u0441\u0435\u043b\u0435\u0439; XY-\u043f\u043b\u0430\u0442\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430 \u0441 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0442\u043d\u044b\u043c \u0441\u0442\u043e\u043b\u043e\u043c \u043d\u0430 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0434\u0448\u0438\u043f\u043d\u0438\u043a\u0430\u0445, \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u043d\u0430\u044f \u0441\u043a\u0430\u043d\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0430\u044f \u0441\u044a\u0435\u043c\u043a\u0430 \u0432\u0441\u0435\u0433\u043e \u044d\u043a\u0440\u0430\u043d\u0430, \u0443\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u044f\u044e\u0449\u0430\u044f \u043f\u0441\u0435\u0432\u0434\u043e\u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u044b, \u0432\u044b\u0437\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0434\u0440\u043e\u0436\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/li>\n\n\n\n<li>(V) \u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u043d\u043e\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u0438 \u0438\u0441\u043f\u044b\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f \u0432 \u0430\u044d\u0440\u043e\u043a\u043e\u0441\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0441\u043b\u0438<\/li>\n\n\n\n<li>\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u043e\u0447\u043d\u044b\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u0437\u0438\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0434\u0435\u0442\u0430\u043b\u0435\u0439 \u0438 \u043b\u043e\u043f\u0430\u0442\u043e\u043a \u0430\u0432\u0438\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0434\u0432\u0438\u0433\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439 (\u043f\u043e\u0440\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u043f\u043b\u0430\u0442\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430 \u043d\u0430 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0434\u0448\u0438\u043f\u043d\u0438\u043a\u0430\u0445 \u0441 \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0434\u043b\u0438\u043d\u043d\u044b\u043c \u0445\u043e\u0434\u043e\u043c);<\/li>\n\n\n\n<li>\u0421\u0431\u043e\u0440\u043e\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0438 \u0438\u0441\u043f\u044b\u0442\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0442\u0435\u043d\u0434\u044b \u0434\u043b\u044f \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043e\u043b\u0435\u0437\u043d\u044b\u0445 \u043d\u0430\u0433\u0440\u0443\u0437\u043e\u043a \u0441\u043f\u0443\u0442\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0438 \u0430\u044d\u0440\u043e\u043a\u043e\u0441\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043a\u0430\u043c\u0435\u0440;<\/li>\n\n\n\n<li>\u0421\u0438\u043c\u0443\u043b\u044f\u0442\u043e\u0440\u044b \u0434\u0432\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0431\u0435\u0437 \u0442\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u043a\u043e\u0441\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0437\u043c\u043e\u0432, \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u0432 \u043a\u043e\u0441\u043c\u043e\u0441\u0435 \u0441 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435\u043c \u0442\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f;<\/li>\n\n\n\n<li>\u041c\u0430\u0441\u0441\u0438\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0442\u043d\u044b\u0435 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0433\u0430\u0441\u044f\u0442 \u0432\u0438\u0431\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438, \u0438\u0441\u0445\u043e\u0434\u044f\u0449\u0438\u0435 \u043e\u0442 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f, \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044f \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u0431\u043e\u0440\u043a\u0438 \u0430\u0432\u0438\u0430\u043a\u043e\u0441\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432.<\/li>\n\n\n\n<li>(VI) \u041c\u0435\u0434\u0438\u0446\u0438\u043d\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0446\u0438\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435<\/li>\n\n\n\n<li>\u041e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0445\u0438\u0440\u0443\u0440\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432, \u043f\u043b\u0430\u0442\u0444\u043e\u0440\u043c\u044b \u0434\u043b\u044f \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043a\u0430\u043f\u0435\u043b\u044c \u0432 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0444\u043b\u044e\u0438\u0434\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430\u0445 \u0434\u043b\u044f \u0431\u0438\u043e\u0447\u0438\u043f\u043e\u0432;<\/li>\n\n\n\n<li>\u0421\u0442\u043e\u043b\u044b \u0434\u043b\u044f \u043a\u0430\u043b\u0438\u0431\u0440\u043e\u0432\u043e\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u043a\u0430\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0432 \u043a\u043e\u043c\u043f\u044c\u044e\u0442\u0435\u0440\u043d\u043e\u0439 \u0442\u043e\u043c\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0438 \u0438 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043c\u0435\u0434\u0438\u0446\u0438\u043d\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0432\u0438\u0437\u0443\u0430\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438;<\/li>\n\n\n\n<li>\u041d\u0438\u0437\u043a\u0438\u0439 \u0443\u0440\u043e\u0432\u0435\u043d\u044c \u0432\u0438\u0431\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438, \u043e\u0442\u0441\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446\u0430\u043c\u0438, \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0434\u043b\u044f \u0431\u0438\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0438 \u043c\u0435\u0434\u0438\u0446\u0438\u043d\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0447\u0438\u0441\u0442\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u0439.<\/li>\n<\/ol>\n\n\n\n<p class=\"wp-block-paragraph\">III. \u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043d\u0444\u0438\u0433\u0443\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0442\u0444\u043e\u0440\u043c \u0438 \u0441\u0446\u0435\u043d\u0430\u0440\u0438\u0438 \u0438\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f<br>XY \u043e\u0434\u043d\u043e-\/\u0434\u0432\u0443\u0445\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u0430\u044f \u043a\u0440\u043e\u0441\u0441\u043f\u043b\u0430\u0442\u0444\u043e\u0440\u043c\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 (\u043d\u0435\u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u043e\u0439 \u0445\u043e\u0434 \u0432 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0430\u0445 300\u00d7300 \u043c\u043c)<br>\u041e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f: \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d, \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435, \u0441\u043a\u043b\u0435\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c \u0438 \u043c\u043e\u043d\u0442\u0430\u0436, \u043b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u043d\u0430\u044f \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0444\u0435\u0440\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u044f;<br>\u041f\u043e\u0440\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u043f\u043b\u0430\u0442\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430 \u0441 \u0434\u0432\u043e\u0439\u043d\u044b\u043c \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u043e\u043c \u043d\u0430 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0434\u0448\u0438\u043f\u043d\u0438\u043a\u0430\u0445 \u0434\u043b\u044f \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0442\u0430 (\u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u043e\u0439 \u0445\u043e\u0434 \u2014 \u043e\u0442 500 \u043c\u043c \u0434\u043e \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0438\u0445 \u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432)<br>\u041e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f: \u0441\u0442\u043e\u043b\u044b \u0434\u043b\u044f \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d, \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u0430\u0432\u0442\u043e\u043c\u0430\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0432\u0438\u0437\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044f (AOI) \u0441 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u043c \u044d\u043a\u0440\u0430\u043d\u043e\u043c, \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u0430\u044f \u043d\u0430\u0440\u0435\u0437\u043a\u0430 \u0444\u043e\u0442\u043e\u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432, \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u043e\u0433\u0430\u0431\u0430\u0440\u0438\u0442\u043d\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043e\u0440\u0434\u0438\u043d\u0430\u0442\u043d\u043e-\u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0430\u0448\u0438\u043d\u044b (CMM);<br>\u0422\u0440\u0435\u0445\u043e\u0441\u043d\u0430\u044f \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u0437\u0438\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043d\u0435\u0432\u043c\u0430\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043e\u0434\u0448\u0438\u043f\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 XYZ \u0441 \u0432\u0440\u0430\u0449\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0432\u043e\u043a\u0440\u0443\u0433 \u043e\u0441\u0438 R<br>\u041e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f: \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439 \u0441\u0432\u043e\u0431\u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u0444\u043e\u0440\u043c\u044b, \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u0430\u044f \u043e\u0440\u0438\u0435\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u044f \u0441\u0442\u0440\u0443\u0436\u043a\u0438, \u0441\u043a\u0430\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 3D-\u043f\u0440\u043e\u0444\u0438\u043b\u0435\u0439;<br>\u041c\u043e\u0434\u0443\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0442\u043d\u0430\u044f \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0449\u0430\u044f \u043d\u0430 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0434\u0448\u0438\u043f\u043d\u0438\u043a\u0430\u0445 \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0434\u043b\u0438\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0434\u043b\u0438\u043d\u044b (10 \u043c)<br>\u041e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f: \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u044b\u0445 \u0434\u0435\u0442\u0430\u043b\u0435\u0439 \u0432 \u0430\u044d\u0440\u043e\u043a\u043e\u0441\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0441\u043b\u0438, \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043b\u0438\u043d\u0438\u0438 \u0434\u043b\u044f \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043a\u0441\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044f \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0430\u043d\u0435\u043b\u0435\u0439.<br>IV. \u0422\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043a \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0438\u043d\u0444\u0440\u0430\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0435 (\u0438\u043c\u0435\u044e\u0449\u0438\u0435 \u0440\u0435\u0448\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043b\u0438\u043d\u0438\u0439 \u043c\u0430\u0441\u0441\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430)<br>\u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0441\u0436\u0430\u0442\u043e\u0433\u043e \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0445\u0430: \u0447\u0438\u0441\u0442\u044b\u0439 \u0438 \u0441\u0443\u0445\u043e\u0439 \u0441\u0436\u0430\u0442\u044b\u0439 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0445, \u0441\u0442\u0435\u043f\u0435\u043d\u044c \u0444\u0438\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 0,01 \u043c\u043a\u043c, \u0442\u043e\u0447\u043a\u0430 \u0440\u043e\u0441\u044b \u2264-40 \u00b0C, \u0441 \u0441\u0438\u0433\u043d\u0430\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0435\u0439 \u043d\u0435\u0438\u0441\u043f\u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439 \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f;<br>\u041f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043f\u043e\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u0435: \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u043d\u0430\u044f \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430 \u00b10,1 \u2103, \u0447\u0438\u0441\u0442\u0430\u044f \u043a\u043e\u043c\u043d\u0430\u0442\u0430 \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0430 100\/1000, \u043f\u043e\u043b \u043e\u0441\u043d\u0430\u0449\u0435\u043d \u043f\u0430\u0441\u0441\u0438\u0432\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0432\u0438\u0431\u0440\u043e\u0438\u0437\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u043c\u0438 \u043e\u043f\u043e\u0440\u0430\u043c\u0438 \u043d\u0430 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0434\u0443\u0448\u043a\u0435;<br>\u041e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430: \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0442, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u0439 \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0430\u043d\u0442\u0438\u0441\u0442\u0430\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u0438 \u043a\u0438\u0441\u043b\u043e\u0442\u043e\u0441\u0442\u043e\u0439\u043a\u0443\u044e \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0443; \u0434\u043b\u044f \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u0439 \u0432\u044b\u0431\u0438\u0440\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0447\u0435\u0440\u043d\u044b\u0439 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0442 \u0441 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435\u043c \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u044b\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f;<br>\u0421\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u0430\u044f \u043a\u043e\u043d\u0444\u0438\u0433\u0443\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u0430: \u043b\u0438\u043d\u0435\u0439\u043d\u044b\u0435 \u0434\u0432\u0438\u0433\u0430\u0442\u0435\u043b\u0438, \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0442\u043e\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0440\u0435\u0448\u0435\u0442\u0447\u0430\u0442\u044b\u0435 \u0448\u043a\u0430\u043b\u044b (\u0441 \u0448\u0430\u0433\u043e\u043c 0,1 \u043d\u043c\/1 \u043d\u043c), \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u043b\u0435\u0440\u044b \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u043e\u0441\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u0441\u0438\u043d\u0445\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0434\u0432\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f.<br>V. \u0422\u0435\u043d\u0434\u0435\u043d\u0446\u0438\u0438 \u0432 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438<br>\u041a\u0440\u0443\u043f\u043d\u043e\u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u043d\u0430\u044f \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f: 12-\u0434\u044e\u0439\u043c\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u0438 \u0434\u0438\u0441\u043f\u043b\u0435\u0439\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0430\u043d\u0435\u043b\u0438 8-\u0433\u043e\/10-\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0442 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e\u043c\u0443 \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u043f\u043e\u0440\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c \u0441 \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0434\u043b\u0438\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043f\u043e\u0434\u0448\u0438\u043f\u043d\u0438\u043a\u0430\u043c\u0438 \u0434\u043b\u0438\u043d\u043e\u0439 \u0432 \u043c\u0435\u0442\u0440;<br>\u041a\u043e\u043c\u043f\u043e\u0437\u0438\u0442\u043d\u0430\u044f \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u043e\u0441\u0435\u0432\u0430\u044f \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f: \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0442\u0444\u043e\u0440\u043c\u044b \u043d\u0430 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0434\u0448\u0438\u043f\u043d\u0438\u043a\u0430\u0445 XYZR \u0441 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0438\u043c\u0438 \u0441\u0442\u0435\u043f\u0435\u043d\u044f\u043c\u0438 \u0441\u0432\u043e\u0431\u043e\u0434\u044b \u0437\u0430\u043c\u0435\u043d\u044f\u044e\u0442 \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u0438, \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0438\u0442\u044c \u0433\u0430\u0431\u0430\u0440\u0438\u0442\u044b \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f;<br>\u0423\u0441\u043a\u043e\u0440\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u0437\u0430\u043c\u0435\u043d\u0430 \u0438\u043c\u043f\u043e\u0440\u0442\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0446\u0438\u0438 \u043d\u0430 \u043e\u0442\u0435\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u0443\u044e: \u0432 \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u044f\u0445, \u043a\u0430\u043a \u043b\u0438\u0442\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u044f, \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u043e\u0447\u043d\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043e\u0440\u0434\u0438\u043d\u0430\u0442\u043d\u043e-\u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0430\u0448\u0438\u043d\u044b (\u041a\u0418\u041c), \u043f\u043e\u0441\u0442\u0435\u043f\u0435\u043d\u043d\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0441\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0437\u0430\u043c\u0435\u043d\u0430 \u0438\u043c\u043f\u043e\u0440\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c \u0441 \u043f\u043d\u0435\u0432\u043c\u0430\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u043f\u043e\u0434\u0448\u0438\u043f\u043d\u0438\u043a\u0430\u043c\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 PI \u0438 Newport;<br>\u0413\u0440\u0430\u043d\u0438\u0442\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0442\u0444\u043e\u0440\u043c\u044b \u0441 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043f\u043e\u0434\u0448\u0438\u043f\u043d\u0438\u043a\u0430\u043c\u0438, \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u0432 \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u0435: \u0430\u0434\u0430\u043f\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u044b \u0434\u043b\u044f \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u0441 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u044d\u043a\u0441\u0442\u0440\u0435\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0444\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f (EUV) \u0438 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0443\u0447\u043a\u0430, \u0447\u0442\u043e \u0440\u0430\u0441\u0448\u0438\u0440\u044f\u0435\u0442 \u0441\u0444\u0435\u0440\u0443 \u0438\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u043d\u044b\u0445 \u043b\u0438\u043d\u0438\u044f\u0445 \u043f\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0443 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432;<br>\u0418\u043d\u0442\u0435\u043b\u043b\u0435\u043a\u0442\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043c\u043e\u043d\u0438\u0442\u043e\u0440\u0438\u043d\u0433: \u0432\u0441\u0442\u0440\u043e\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u0438, \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u044f\u044e\u0449\u0438\u0435 \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0445\u0430, \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0443 \u0438 \u0432\u0438\u0431\u0440\u0430\u0446\u0438\u044e \u0432 \u0440\u0435\u0436\u0438\u043c\u0435 \u0440\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0438, \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043e\u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043b\u044f\u0442\u044c \u043f\u0440\u043e\u0444\u0438\u043b\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043e\u0431\u0441\u043b\u0443\u0436\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043b\u0438\u043d\u0438\u0439.<br>VI. \u0421\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432 \u0438 \u043d\u0435\u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043a\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 \u0442\u0440\u0430\u0434\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f\u043c\u0438<br>\u0422\u0430\u0431\u043b\u0438\u0446\u0430<br>\u0420\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430 \u0431\u0430\u0437\u0435 \u043f\u043e\u0434\u0432\u0438\u0436\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0442\u0444\u043e\u0440\u043c\u044b; \u0422\u043e\u0447\u043d\u043e\u0435 \u043f\u043e\u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432\u0438\u0431\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0442\u043e\u043b\u043a\u0435; \u0421\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u0440\u0438 \u043d\u0435\u043f\u0440\u0435\u0440\u044b\u0432\u043d\u043e\u0439 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0435; \u0422\u0438\u043f\u0438\u0447\u043d\u044b\u0435 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0441\u043b\u0438 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f<br>\u0413\u0440\u0430\u043d\u0438\u0442\u043d\u044b\u0439 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043e\u0434\u0448\u0438\u043f\u043d\u0438\u043a, \u043f\u0440\u044f\u043c\u043e\u0439 \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434, \u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432\u044b\u0439 \u0443\u0440\u043e\u0432\u0435\u043d\u044c (50 \u043d\u043c), \u0447\u0440\u0435\u0437\u0432\u044b\u0447\u0430\u0439\u043d\u043e \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u043e\u0442\u0441\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 \u0434\u0440\u0435\u0439\u0444\u0430 \u0432 \u0442\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 24 \u0447\u0430\u0441\u043e\u0432. \u041f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u0438, \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u043d\u0430\u044f \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0430, \u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f<br>\u041f\u043b\u0430\u0442\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430 \u043d\u0430 \u0430\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0434\u0448\u0438\u043f\u043d\u0438\u043a\u0430\u0445: \u0441\u0440\u0435\u0434\u043d\u0438\u0439 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446 \u2014 \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439, \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0439 \u0434\u0440\u0435\u0439\u0444, \u043b\u0435\u0433\u043a\u043e \u0434\u0435\u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u0440\u0438 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u0445 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043f\u0430\u0434\u0430\u0445 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440; \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u043e\u0431\u0449\u0435\u0439 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u0438 \u043d\u0435\u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044f \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430<br>\u0421\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043b\u0438\u043d\u0435\u0439\u043d\u0430\u044f \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0449\u0430\u044f. \u0422\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043d\u0430 \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0430 (1\u20135 \u043c\u043a\u043c). \u0421\u0438\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0432\u0438\u0431\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438, \u0432\u044b\u0437\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0442\u0440\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c. \u0414\u043e\u043b\u0433\u043e\u0441\u0440\u043e\u0447\u043d\u044b\u0439 \u0438\u0437\u043d\u043e\u0441 \u0438 \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0437\u0430\u0437\u043e\u0440\u0430. \u041e\u0431\u0449\u0430\u044f \u0430\u0432\u0442\u043e\u043c\u0430\u0442\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044f, \u0447\u0435\u0440\u043d\u043e\u0432\u0430\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430<br>\u041a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043f\u043e\u043b\u0437\u0443\u043d, \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0449\u0430\u044f, \u0441\u0443\u0431\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043d\u043d\u0430\u044f \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u0443\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0438 \u0441\u043b\u0430\u0431\u043e\u0435 \u0434\u0435\u043c\u043f\u0444\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435, \u0432\u044b\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u043d\u044b\u0439 \u0440\u0435\u0437\u043e\u043d\u0430\u043d\u0441, \u043c\u0435\u043b\u043a\u043e\u0433\u0430\u0431\u0430\u0440\u0438\u0442\u043d\u043e\u0435 \u043b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u043d\u043e\u0435 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435<\/p>\n\n\n\n<figure class=\"wp-block-image size-large\"><img fetchpriority=\"high\" decoding=\"async\" width=\"1024\" height=\"777\" src=\"https:\/\/jtlcnc.com\/wp-content\/uploads\/2026\/07\/111-1024x777.png\" alt=\"\" class=\"wp-image-3058\" srcset=\"https:\/\/jtlcnc.com\/wp-content\/uploads\/2026\/07\/111-1024x777.png 1024w, https:\/\/jtlcnc.com\/wp-content\/uploads\/2026\/07\/111-300x228.png 300w, https:\/\/jtlcnc.com\/wp-content\/uploads\/2026\/07\/111-768x583.png 768w, https:\/\/jtlcnc.com\/wp-content\/uploads\/2026\/07\/111-16x12.png 16w, https:\/\/jtlcnc.com\/wp-content\/uploads\/2026\/07\/111-800x607.png 800w, https:\/\/jtlcnc.com\/wp-content\/uploads\/2026\/07\/111.png 1089w\" sizes=\"(max-width: 1024px) 100vw, 1024px\" \/><\/figure>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>\u0421\u0432\u0435\u0440\u0445\u0442\u043e\u0447\u043d\u0430\u044f \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f: \u0432\u0441\u0435\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u043d\u0438\u0439 \u0430\u043d\u0430\u043b\u0438\u0437 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043b\u0430\u0442\u0444\u043e\u0440\u043c\u044b \u043d\u0430 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0434\u0448\u0438\u043f\u043d\u0438\u043a\u0430\u0445 \u0438\u0437 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0442\u0430 = \u043f\u043b\u0430\u0442\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430 \u043d\u0430 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0434\u0448\u0438\u043f\u043d\u0438\u043a\u0430\u0445 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0438\u0437 \u043d\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0442\u0430, \u0433\u0438\u0434\u0440\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043f\u043e\u0434\u0448\u0438\u043f\u043d\u0438\u043a\u0430\u043c\u0438, \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0449\u0438\u043c\u0438 \u043d\u0430 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0448\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0434\u0448\u0438\u043f\u043d\u0438\u043a\u0430\u0445, \u043b\u0438\u043d\u0435\u0439\u043d\u044b\u043c \u0434\u0432\u0438\u0433\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435\u043c \u0438 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u043e\u0441\u0435\u0432\u043e\u0439 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u043e\u0439 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441 \u043f\u0440\u044f\u043c\u044b\u043c \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u043e\u043c. \u042d\u0442\u043e \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u043e\u0439 \u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u0437\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435, \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u043a\u0430\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0431\u0435\u0437 \u0442\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043e\u043b\u0433\u043e\u0441\u0440\u043e\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u0439 \u044d\u043a\u0441\u043f\u043b\u0443\u0430\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e. \u041e\u043d\u0430 \u043a\u0430\u0440\u0434\u0438\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0440\u0435\u0448\u0430\u0435\u0442 \u0447\u0435\u0442\u044b\u0440\u0435 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435\u2026<\/p>","protected":false},"author":1,"featured_media":3058,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"_seopress_titles_title":"","_seopress_titles_desc":"","_seopress_robots_index":"","_seopress_robots_follow":"","_seopress_robots_imageindex":"","_seopress_robots_snippet":"","_seopress_robots_primary_cat":"","_seopress_robots_breadcrumbs":"","_seopress_robots_freeze_modified_date":"","_seopress_robots_custom_modified_date":"","_seopress_robots_canonical":"","_seopress_social_fb_title":"","_seopress_social_fb_desc":"","_seopress_social_fb_img":"","_seopress_social_fb_img_attachment_id":0,"_seopress_social_fb_img_width":0,"_seopress_social_fb_img_height":0,"_seopress_social_twitter_title":"","_seopress_social_twitter_desc":"","_seopress_social_twitter_img":"","_seopress_social_twitter_img_attachment_id":0,"_seopress_social_twitter_img_width":0,"_seopress_social_twitter_img_height":0,"_seopress_redirections_value":"","_seopress_redirections_enabled":"","_seopress_redirections_enabled_regex":"","_seopress_redirections_logged_status":"","_seopress_redirections_param":"","_seopress_redirections_type":0,"_seopress_analysis_target_kw":"","_kad_blocks_custom_css":"","_kad_blocks_head_custom_js":"","_kad_blocks_body_custom_js":"","_kad_blocks_footer_custom_js":"","_kadence_starter_templates_imported_post":false,"_kad_post_transparent":"","_kad_post_title":"","_kad_post_layout":"","_kad_post_sidebar_id":"","_kad_post_content_style":"","_kad_post_vertical_padding":"","_kad_post_feature":"","_kad_post_feature_position":"","_kad_post_header":false,"_kad_post_footer":false,"_kad_post_classname":"","footnotes":""},"categories":[35],"tags":[],"class_list":["post-3057","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-news"],"taxonomy_info":{"category":[{"value":35,"label":"NEWS"}]},"featured_image_src_large":["https:\/\/jtlcnc.com\/wp-content\/uploads\/2026\/07\/111-1024x777.png",1024,777,true],"author_info":{"display_name":"jinxing6611@gmail.com","author_link":"https:\/\/jtlcnc.com\/ru\/author\/jtlcnc\/"},"comment_info":0,"category_info":[{"term_id":35,"name":"NEWS","slug":"news","term_group":0,"term_taxonomy_id":35,"taxonomy":"category","description":"","parent":0,"count":362,"filter":"raw","cat_ID":35,"category_count":362,"category_description":"","cat_name":"NEWS","category_nicename":"news","category_parent":0}],"tag_info":false,"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/3057","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=3057"}],"version-history":[{"count":1,"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/3057\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":3059,"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/3057\/revisions\/3059"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media\/3058"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=3057"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=3057"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=3057"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}