La priorit\u00e9 est accord\u00e9e au granit \u00ab Jinan Green \u00bb et au granit \u00ab Zhangqiu Black \u00bb, tous deux denses et \u00e0 grain fin, r\u00e9pondant aux sp\u00e9cifications obligatoires suivantes :
Densit\u00e9 \u2265 2,6 g\/cm\u00b3, duret\u00e9 selon l'\u00e9chelle de Mohs : 6 \u00e0 7, r\u00e9sistance \u00e0 la compression \u2265 80 MPa
Absorption d'eau \u2264 1,01 TP3T, coefficient de dilatation thermique 4,5~6\u00d710\u207b\u2076\/\u2103, non magn\u00e9tique, amortissement \u00e9lev\u00e9 r\u00e9duisant les vibrations
Mati\u00e8res premi\u00e8res interdites : celles pr\u00e9sentant des inclusions, de grandes taches de mica, des fissures sombres, des pores ou des bandes de couleur.<\/li>\n\n\n\n
Vieillissement naturel \u00e0 l'air libre pendant plus de 3 mois afin de lib\u00e9rer les contraintes initiales de la couche rocheuse provenant de la mine ;
D\u00e9tection par ultrasons des d\u00e9fauts internes afin de rep\u00e9rer les fissures sombres invisibles ;
Effectuer des essais de percussion pour d\u00e9tecter d'\u00e9ventuels d\u00e9fauts internes dus \u00e0 un rel\u00e2chement ;
Contr\u00f4le visuel complet : \u00e9liminer les fissures, les taches de couleur et les cavit\u00e9s ; les socles de haute pr\u00e9cision doivent \u00eatre monolithiques, sans joints.
II. \u00c9bauche et mise en forme de l'\u00e9bauche (en pr\u00e9voyant une marge d'usinage pour l'usinage de pr\u00e9cision)
D\u00e9coupe au diamant de gros blocs bruts \u00e0 l'aide d'une scie
Scie \u00e0 cadre \/ scie \u00e0 fil : d\u00e9coupe \u00e0 refroidissement par eau avec pulv\u00e9risation continue pour \u00e9viter les fissures dues aux contraintes thermiques ; pr\u00e9voir une marge d'usinage de 2 mm en longueur et en largeur, et de 2 \u00e0 3 mm en \u00e9paisseur.
Usinage de mise en forme et d'\u00e9bauche par CNC
D\u00e9coupe au pont et d\u00e9coupe au jet d'eau pour les contours ext\u00e9rieurs, fraisage des angles en exc\u00e8s ; \u00e9barbage des surfaces de r\u00e9f\u00e9rence, avec une plan\u00e9it\u00e9 contr\u00f4l\u00e9e \u00e0 0,2 mm\/m apr\u00e8s l'\u00e9barbage.
\u00c9bauche des \u00e9bauches fonctionnelles
Pr\u00e9-per\u00e7age des trous de fixation et fraisage grossier des rainures en T, en laissant une marge de 0,5 \u00e0 1 mm de chaque c\u00f4t\u00e9 pour le meulage de pr\u00e9cision ; il est strictement interdit de proc\u00e9der \u00e0 une coupe profonde en une seule passe afin d'\u00e9viter l'\u00e9br\u00e9chage des ar\u00eates et l'apparition de microfissures.
III. Vieillissement par relaxation des contraintes en plusieurs \u00e9tapes (d\u00e9termine la stabilit\u00e9 dimensionnelle \u00e0 long terme, processus cl\u00e9)
Apr\u00e8s l'usinage grossier, des contraintes de coupe internes subsistent dans la pierre ; si elles ne sont pas \u00e9vacu\u00e9es, le meulage de pr\u00e9cision direct entra\u00eenera \u00e0 long terme une d\u00e9formation progressive et une perte de pr\u00e9cision.
Option 1 : Vieillissement naturel \u00e0 temp\u00e9rature constante (norme pour les plateformes haut de gamme de cat\u00e9gorie 000)
Transporter les composants dans un atelier \u00e0 temp\u00e9rature et humidit\u00e9 constantes (20 \u00b1 1 \u00b0C, humidit\u00e9 relative de 45 \u00b1 51 %), les disposer \u00e0 plat et les laisser reposer pendant 2 \u00e0 4 semaines, en les retournant tous les 7 jours afin de lib\u00e9rer les contraintes de mani\u00e8re uniforme.
Option 2 : Vieillissement artificiel des composites (pour les pi\u00e8ces de pr\u00e9cision fabriqu\u00e9es en s\u00e9rie)
Vieillissement thermique : 24 h d'isolation dans une chambre de s\u00e9chage \u00e0 80 \u00b0C ;
Cycle cryog\u00e9nique : 4 h d'isolation \u00e0 -10 \u00b0C ;
Revenir \u00e0 une temp\u00e9rature constante de 20 \u00b0C et laisser reposer pendant 72 heures ;
\u00c9liminer compl\u00e8tement les contraintes r\u00e9siduelles g\u00e9n\u00e9r\u00e9es par la d\u00e9coupe et le sciage.
IV. Rectification de pr\u00e9cision en plusieurs \u00e9tapes (pour atteindre une pr\u00e9cision de r\u00e9f\u00e9rence de l'ordre du micron ou du sous-micron)
L'ensemble du processus se d\u00e9roule dans un atelier \u00e0 temp\u00e9rature constante de 20 \u00b0C et se divise en quatre \u00e9tapes de meulage progressif visant \u00e0 am\u00e9liorer progressivement la plan\u00e9it\u00e9 et l'\u00e9tat de surface :
Rectification de semi-pr\u00e9cision (meules diamant\u00e9es 200#~400#)
\u00c9limination des marques d'usinage grossier, plan\u00e9it\u00e9 contr\u00f4l\u00e9e entre 0,02 et 0,05 mm\/m ;
Broyage fin (800#~1200#)
\u00c9liminer les rayures profondes et superficielles, rugosit\u00e9 de surface Ra < 0,8 \u03bcm ;
Rodage manuel d'ultra-pr\u00e9cision (abrasifs ultra-fins 2000#~5000#)
Les techniciens utilisent des plaques de rodage en fonte pour le meulage en croix, ce qui permet de r\u00e9duire progressivement l'erreur de plan\u00e9it\u00e9 ;
Polissage miroir (au-del\u00e0 de 5000#)
Surface de travail Ra \u2264 0,1 \u00e0 0,2 \u03bcm, avec obturation des pores pour emp\u00eacher la p\u00e9n\u00e9tration d'eau et d'huile.
Apr\u00e8s la rectification, laissez reposer \u00e0 nouveau la pi\u00e8ce dans un environnement \u00e0 temp\u00e9rature constante pendant 5 \u00e0 7 jours afin de proc\u00e9der \u00e0 un deuxi\u00e8me rel\u00e2chement des contraintes et d'\u00e9viter tout retour de pr\u00e9cision.<\/li>\n<\/ol>\n\n\n\n
V. Usinage de pr\u00e9cision de composants fonctionnels (assemblages et structures de support) Composants d'instruments de pr\u00e9cision en granit : Technologie d'\u00e9talonnage tout au long du processus, de la mati\u00e8re premi\u00e8re au produit fini. Produits concern\u00e9s : bases de MMT, plates-formes de m\u00e9trologie pour semi-conducteurs, bancs de machines-outils, tables de r\u00e9f\u00e9rence pour l'inspection optique (composants en granit de haute pr\u00e9cision de grade 00 \/ grade 000)Le processus global se divise en sept \u00e9tapes compl\u00e8tes : s\u00e9lection des mati\u00e8res premi\u00e8res \u2192 usinage grossier et mise en forme \u2192 vieillissement sous contrainte et stabilisation\u2026<\/p>","protected":false},"author":1,"featured_media":2587,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"_kad_blocks_custom_css":"","_kad_blocks_head_custom_js":"","_kad_blocks_body_custom_js":"","_kad_blocks_footer_custom_js":"","_kadence_starter_templates_imported_post":false,"_kad_post_transparent":"","_kad_post_title":"","_kad_post_layout":"","_kad_post_sidebar_id":"","_kad_post_content_style":"","_kad_post_vertical_padding":"","_kad_post_feature":"","_kad_post_feature_position":"","_kad_post_header":false,"_kad_post_footer":false,"_kad_post_classname":"","footnotes":""},"categories":[35],"tags":[],"class_list":["post-3043","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-news"],"taxonomy_info":{"category":[{"value":35,"label":"NEWS"}]},"featured_image_src_large":["https:\/\/jtlcnc.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/\u5fae\u4fe1\u56fe\u7247_20260428145938_16_25.png",799,784,false],"author_info":{"display_name":"jinxing6611@gmail.com","author_link":"https:\/\/jtlcnc.com\/fr\/author\/jtlcnc\/"},"comment_info":0,"category_info":[{"term_id":35,"name":"NEWS","slug":"news","term_group":0,"term_taxonomy_id":35,"taxonomy":"category","description":"","parent":0,"count":425,"filter":"raw","cat_ID":35,"category_count":425,"category_description":"","cat_name":"NEWS","category_nicename":"news","category_parent":0}],"tag_info":false,"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/3043","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=3043"}],"version-history":[{"count":1,"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/3043\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":3044,"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/3043\/revisions\/3044"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/media\/2587"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=3043"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=3043"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=3043"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}
Per\u00e7age de pr\u00e9cision, taraudage et pr\u00e9-encastrement de douilles filet\u00e9es en acier inoxydable (pour \u00e9viter l'arrachement des filets et la corrosion) ;
Usinage CNC et rectification des surfaces des rainures en T et des glissi\u00e8res en V afin de garantir leur rectitude et leur perpendicularit\u00e9 ;
Usinage de pr\u00e9cision d'\u00e9videments d'all\u00e8gement, de fentes de levage et de bossages de r\u00e9f\u00e9rence de positionnement ;
Imperm\u00e9abilisation et protection des surfaces : produit d'imperm\u00e9abilisation p\u00e9n\u00e9trant sp\u00e9cialement con\u00e7u pour la pierre, destin\u00e9 \u00e0 r\u00e9duire l'absorption d'eau et \u00e0 pr\u00e9venir l'\u00e9rosion due \u00e0 l'humidit\u00e9.
VI. \u00c9talonnage et contr\u00f4le complets en usine (\u00e9talonnage de pr\u00e9cision m\u00e9trologique, d\u00e9livrance de certificats d'\u00e9talonnage)
Exigences environnementales pr\u00e9alables \u00e0 l'\u00e9talonnage
Temp\u00e9rature constante de 20 \u00b1 1 \u00b0C, vitesse de variation de la temp\u00e9rature \u2264 0,5 \u00b0C\/h, absence de vibrations et de poussi\u00e8re ; les composants doivent \u00eatre maintenus \u00e0 temp\u00e9rature constante pendant 24 heures pour atteindre l'\u00e9quilibre.
\u00c9quipements et \u00e9l\u00e9ments de calibrage complets (conformes aux normes JJG 117 et ISO 8512)
Contr\u00f4le de l'aspect et des d\u00e9fauts
Loupe d'inspection visuelle permettant de v\u00e9rifier la pr\u00e9sence de rayures, de bosses et de fissures ;
\u00c9talonnage de la plan\u00e9it\u00e9 (indicateur cl\u00e9)
Classe 000\/00 \u2013 Pr\u00e9cision ultra-\u00e9lev\u00e9e : interf\u00e9rom\u00e8tre laser, autocollimateur et mesure par points de grille ;
Pi\u00e8ces de pr\u00e9cision conventionnelles : m\u00e9thode de la grille \u00e0 cinq points avec niveau \u00e9lectronique et plaque de pont ;
G\u00e9n\u00e9ration d'une grille compos\u00e9e de centaines de points \u00e0 partir de cotes, ajustement plan par la m\u00e9thode des moindres carr\u00e9s, contr\u00f4le des erreurs :
Cat\u00e9gorie 000 : \u2264 1,5 \u03bcm\/m ; Cat\u00e9gorie 00 : \u2264 3 \u03bcm\/m ; Cat\u00e9gorie 0 : \u2264 6 \u03bcm\/m
\u00c9talonnage du parall\u00e9lisme
Balayage multipoint \u00e0 l'aide d'une r\u00e8gle standard et d'un comparateur \u00e0 cadran pour d\u00e9tecter les \u00e9carts de parall\u00e9lisme entre les surfaces de travail sup\u00e9rieure et inf\u00e9rieure ;
\u00c9talonnage de la perpendicularit\u00e9 \/ de la rectitude
Autocollimateur permettant de contr\u00f4ler la rectitude lat\u00e9rale, la rectitude du plan de r\u00e9f\u00e9rence du rail de guidage et la perpendicularit\u00e9 de la surface de r\u00e9f\u00e9rence ;
Uniformit\u00e9 des dimensions et de l'\u00e9paisseur
Des pieds \u00e0 grille de haute pr\u00e9cision et une machine \u00e0 mesurer tridimensionnelle (MMT) pour v\u00e9rifier les tol\u00e9rances de longueur, de largeur et d'\u00e9paisseur ;
Contr\u00f4le de la rugosit\u00e9
Appareil de mesure de la rugosit\u00e9 de surface permettant de mesurer la valeur Ra de la surface de travail ;
Nouveau contr\u00f4le de stabilit\u00e9
Apr\u00e8s l'\u00e9talonnage, le composant est maintenu \u00e0 une temp\u00e9rature constante pendant 48 heures afin de proc\u00e9der \u00e0 un nouveau contr\u00f4le de plan\u00e9it\u00e9 ; il n'est jug\u00e9 conforme que s'il ne pr\u00e9sente aucun rebond de pr\u00e9cision.
Documents de sortie
Rapport d'\u00e9talonnage d'usine de la plate-forme en granit, marquage du degr\u00e9 de pr\u00e9cision et certificat de qualit\u00e9 d'usine.
VII. Protection en usine, transport et \u00e9talonnage secondaire sur site pour l'installation des \u00e9quipements
Protection des emballages
Plans de travail recouverts de mousse souple, fix\u00e9s dans des cadres en bois massif afin d'amortir les chocs et d'\u00e9viter les micro-d\u00e9formations caus\u00e9es par les secousses lors du transport ;
Nouveaux essais et \u00e9talonnage sur site apr\u00e8s l'installation des \u00e9quipements
Une fois que le socle en granit a \u00e9t\u00e9 achemin\u00e9 \u00e0 l'atelier d'instrumentation, il ne doit pas \u00eatre mis \u00e0 niveau imm\u00e9diatement. Un \u00e9talonnage en trois \u00e9tapes doit \u00eatre effectu\u00e9 sur place :
1) Repos \u00e0 temp\u00e9rature constante pendant 24 \u00e0 48 heures afin d'assurer une synchronisation compl\u00e8te avec la temp\u00e9rature ambiante de l'atelier ;
2) Mise \u00e0 niveau approximative \u00e0 l'aide de pieds de r\u00e9glage, puis mise \u00e0 niveau de pr\u00e9cision \u00e0 l'aide d'un niveau \u00e9lectronique ;
3) Interf\u00e9rom\u00e8tre laser permettant de v\u00e9rifier \u00e0 nouveau la plan\u00e9it\u00e9 de la surface de r\u00e9f\u00e9rence et la rectitude des rails de guidage ;
4) \u00c9talonnage de la liaison avec le syst\u00e8me optique\/de mesure de l'instrument afin de compenser les l\u00e9gers \u00e9carts d'installation ;
Sp\u00e9cifications relatives \u00e0 l'\u00e9talonnage p\u00e9riodique
\u00c9quipements de semi-conducteurs \/ optiques de haute pr\u00e9cision : \u00e9talonnage sur site tous les 6 mois ;
Machines-outils d'inspection courantes : \u00e9talonnage annuel ; si la plan\u00e9it\u00e9 d\u00e9passe la tol\u00e9rance, l'appareil doit \u00eatre renvoy\u00e9 \u00e0 l'usine pour \u00eatre r\u00e9aff\u00fbt\u00e9 et r\u00e9par\u00e9.
VIII. Principales lacunes des composants en granit par rapport aux supports en c\u00e9ramique SiC (en r\u00e9f\u00e9rence \u00e0 votre pr\u00e9c\u00e9dent tableau comparatif sur le SiC)
Sa conductivit\u00e9 thermique n'est que de 3 \u00e0 5 W\/(m\u00b7K), ce qui rend impossible l'int\u00e9gration de canaux de refroidissement \u00e0 l'eau, et l'\u00e9chauffement local entra\u00eene facilement une d\u00e9formation ;
Coefficient de dilatation thermique de 4,5 \u00e0 6 \u00d7 10\u207b\u2076\/\u00b0C, avec une d\u00e9rive dimensionnelle induite par la temp\u00e9rature bien sup\u00e9rieure \u00e0 celle du SiC ;
Un poids propre extr\u00eamement \u00e9lev\u00e9 et une faible r\u00e9duction du poids, ce qui le rend inadapt\u00e9 \u00e0 l'a\u00e9rospatiale et aux machines de lithographie \u00e0 balayage \u00e0 grande vitesse ;
L'usure de surface due \u00e0 un frottement alternatif prolong\u00e9 entra\u00eene une perte de pr\u00e9cision annuelle, ce qui rend ce syst\u00e8me adapt\u00e9 uniquement aux \u00e9quipements courants fonctionnant \u00e0 l'\u00e9chelle du micron et incapable de r\u00e9pondre aux exigences de contr\u00f4le thermique \u00e0 l'\u00e9chelle du nanom\u00e8tre des semi-conducteurs de pointe.<\/p>\n\n\n\n![\"\"](\"https:\/\/jtlcnc.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/20260603-151535.png\")
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