Assemblage d'une plateforme de mesure XY \u00e0 paliers \u00e0 air int\u00e9gr\u00e9e
Structure : L'ensemble du bloc de granit est usin\u00e9 et rectifi\u00e9 d'un seul tenant. Les axes X et Y partagent la m\u00eame base ; la d\u00e9viation en porte-\u00e0-faux provient des couches superpos\u00e9es, les deux axes \u00e9tant parfaitement coplanaires ; les rails de guidage sont des paliers \u00e0 air plans, ne pr\u00e9sentant ni frottement m\u00e9canique, ni effet \u00ab stick-slip \u00bb, ni usure.
: Moteur lin\u00e9aire sans noyau de fer ; r\u00e8gle optique \u00e0 r\u00e9seau absolue (r\u00e9solution de 1 nm)
Indicateurs de pr\u00e9cision :
R\u00e9p\u00e9tabilit\u00e9 : \u00b10,05 \u00e0 \u00b10,5 \u03bcm ; rectitude bidirectionnelle : \u2264 0,1 \u03bcm\/100 mm ; perpendicularit\u00e9 : \u2264 1\u2033 ; vitesse : 0,1 \u00e0 1,5 m\/s
Applications : plaquettes, interf\u00e9rom\u00e9trie optique, microscopie confocale laser, microscopie \u00e0 force atomique (AFM), \u00e9talonnage du couplage de fibres, bases de profilom\u00e8tres de haute pr\u00e9cision.<\/li>\n\n\n\n
Structure : socle en granit, traverse de portique en granit. Le socle de l'axe X et le portique de l'axe Y sont assembl\u00e9s avec pr\u00e9cision s\u00e9par\u00e9ment, et \u00e9quip\u00e9s de guidages lin\u00e9aires \/ guidages \u00e0 coussin d'air.
Entra\u00eenement : moteur lin\u00e9aire \/ vis \u00e0 billes de pr\u00e9cision (solution \u00e9conomique)
Indicateurs de pr\u00e9cision :
pr\u00e9cision : \u00b10,5 \u00e0 \u00b11,5 \u03bcm ; course : 300 \u00d7 300 mm \u00e0 1 000 \u00d7 2 000 mm ; charge : 5 \u00e0 30 kg
Applications : machine \u00e0 mesurer tridimensionnelle (MMT), machine de mesure par vision, num\u00e9risation de profils 3D, contr\u00f4le d'aspect des semi-conducteurs, contr\u00f4le automatique de moules de pr\u00e9cision.
III Composants du syst\u00e8me complet (configuration sp\u00e9cifique \u00e0 la mesure)
Corps de base en granit
Trous de fixation filet\u00e9s standard M6\/M8 pr\u00e9-perc\u00e9s et trous pour goupilles de positionnement ; nervures \u00e9paissies dans la partie inf\u00e9rieure, associ\u00e9es \u00e0 des supports anti-vibrations en granit et \u00e0 des patins d'isolation acoustique pour isoler les vibrations du sol.
Syst\u00e8me de guidage
Mesure \u00e0 l'\u00e9chelle nanom\u00e9trique : paliers \u00e0 air planaires (friction, hyst\u00e9r\u00e9sis nulle)
Contr\u00f4le de la production en s\u00e9rie \u00e0 l'\u00e9chelle microm\u00e9trique : guidages lin\u00e9aires \u00e0 rouleaux crois\u00e9s de haute pr\u00e9cision
Motivation et retour d'information
Moteur lin\u00e9aire sans noyau de fer (pas d'effet de cogging, mouvement fluide). R\u00e9seau m\u00e9tallique en boucle ferm\u00e9e, avec la t\u00eate de lecture directement reli\u00e9e \u00e0 la platine mobile afin d'\u00e9liminer les erreurs de jeu de transmission.
Unit\u00e9 de commande
Servocommande multiaxiale, interpolation plane en 2D.<\/li>\n<\/ol>\n\n\n\n
Caract\u00e9ristiques techniques : Palier \u00e0 air int\u00e9gr\u00e9 XY (pr\u00e9cision nanom\u00e9trique) ; Moteur lin\u00e9aire \u00e0 portique XY (pr\u00e9cision microm\u00e9trique)
R\u00e9solution de positionnement 1 10 nm
R\u00e9p\u00e9tabilit\u00e9 bidirectionnelle : \u00b10,05 \u00e0 0,3 \u03bcm ; \u00b10,5 \u00e0 1 \u03bcm
Rectitude uniaxiale : 0,1 \u03bcm\/100 mm \u2264 0,8 \u03bcm\/100 mm
Perpendicularit\u00e9 des axes X\/Y : \u2264 0,5 seconde d'arc \u2264 3 secondes d'arc
Plan\u00e9it\u00e9 (surface en granit) : Grade 000, Grade 00
Course maximale : 200 \u00d7 200 mm \u00e0 100 \u00d7 2 000 mm
Charge nominale : 2 \u00e0 10 kg, 5 \u00e0 30 kg<\/p>\n\n\n\n
V. Sc\u00e9narios d'application types (domaine de la mesure d'ultra-pr\u00e9cision) Granite XY Platform for Ultra-Precision Measurement (Granite Motion Stage)Linear Motor Granite XYI. Material Selection and Core Physical Advantages (Why Only Black Granite is Used)Industry Standard Materials: Jinan Blue, Indian Black, Diorite (Black Gold Sand); marble is strictly prohibited. Core characteristics for ultra-precision measurement:Extremely Low Thermal Expansion CoefficientLinear expansion coefficient of 6~8\u03bcm\/m\u30fb\u2103, only1\/3 of steel. Dimensions…<\/p>","protected":false},"author":1,"featured_media":2994,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"_seopress_titles_title":"","_seopress_titles_desc":"","_seopress_robots_index":"","_seopress_robots_follow":"","_seopress_robots_imageindex":"","_seopress_robots_snippet":"","_seopress_robots_primary_cat":"","_seopress_robots_breadcrumbs":"","_seopress_robots_freeze_modified_date":"","_seopress_robots_custom_modified_date":"","_seopress_robots_canonical":"","_seopress_social_fb_title":"","_seopress_social_fb_desc":"","_seopress_social_fb_img":"","_seopress_social_fb_img_attachment_id":0,"_seopress_social_fb_img_width":0,"_seopress_social_fb_img_height":0,"_seopress_social_twitter_title":"","_seopress_social_twitter_desc":"","_seopress_social_twitter_img":"","_seopress_social_twitter_img_attachment_id":0,"_seopress_social_twitter_img_width":0,"_seopress_social_twitter_img_height":0,"_seopress_redirections_value":"","_seopress_redirections_enabled":"","_seopress_redirections_enabled_regex":"","_seopress_redirections_logged_status":"","_seopress_redirections_param":"","_seopress_redirections_type":0,"_seopress_analysis_target_kw":"","_kad_blocks_custom_css":"","_kad_blocks_head_custom_js":"","_kad_blocks_body_custom_js":"","_kad_blocks_footer_custom_js":"","_kadence_starter_templates_imported_post":false,"_kad_post_transparent":"","_kad_post_title":"","_kad_post_layout":"","_kad_post_sidebar_id":"","_kad_post_content_style":"","_kad_post_vertical_padding":"","_kad_post_feature":"","_kad_post_feature_position":"","_kad_post_header":false,"_kad_post_footer":false,"_kad_post_classname":"","footnotes":""},"categories":[35],"tags":[],"class_list":["post-2991","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-news"],"taxonomy_info":{"category":[{"value":35,"label":"NEWS"}]},"featured_image_src_large":["https:\/\/jtlcnc.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/20260623-100251-674x1024.png",674,1024,true],"author_info":{"display_name":"jinxing6611@gmail.com","author_link":"https:\/\/jtlcnc.com\/fr\/author\/jtlcnc\/"},"comment_info":0,"category_info":[{"term_id":35,"name":"NEWS","slug":"news","term_group":0,"term_taxonomy_id":35,"taxonomy":"category","description":"","parent":0,"count":311,"filter":"raw","cat_ID":35,"category_count":311,"category_description":"","cat_name":"NEWS","category_nicename":"news","category_parent":0}],"tag_info":false,"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2991","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=2991"}],"version-history":[{"count":1,"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2991\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":2995,"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2991\/revisions\/2995"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/media\/2994"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=2991"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=2991"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=2991"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}
Industrie des semi-conducteurs : inspection de l'aspect des plaquettes, station de test des puces, mesure optique du r\u00e9tro\u00e9clairage Mini LED, alignement lithographique ; ses propri\u00e9t\u00e9s non magn\u00e9tiques permettent d'\u00e9viter toute interf\u00e9rence avec les circuits des puces.
M\u00e9trologie optique \/ laser : \u00e9talonnage d'interf\u00e9rom\u00e8tres laser, mesure de la courbure des lentilles, couplage de r\u00e9seaux de fibres, inspection holographique, platine d'imagerie microscopique.
Mesure g\u00e9om\u00e9trique de pr\u00e9cision : machine de mesure par vision enti\u00e8rement automatique, machine \u00e0 mesurer tridimensionnelle (MMT), rugosim\u00e8tre\/profilom\u00e8tre, contr\u00f4le de pr\u00e9cision des engrenages, m\u00e9trologie dimensionnelle des micro-pi\u00e8ces dans le secteur a\u00e9ronautique.
Laboratoire de recherche scientifique : microscope \u00e0 force atomique, platine pour microscope \u00e9lectronique \u00e0 balayage (MEB), positionnement pour la micro- et nanofabrication, essais de microd\u00e9formation en m\u00e9canique des mat\u00e9riaux.
VI. Points cl\u00e9s de l'entretien quotidien (pour garantir la pr\u00e9cision des mesures \u00e0 long terme)
Environnement : temp\u00e9rature constante de 20 \u00b1 0,5 \u00b0C, atelier propre et exempt de poussi\u00e8re ; \u00e9viter tout courant d'air direct sur la surface ;
Nettoyage : essuyer avec un chiffon non pelucheux imbib\u00e9 d'\u00e9thanol anhydre ; il est interdit de rayer la surface avec des outils durs ;
Mod\u00e8les \u00e0 paliers \u00e0 air : source d'air sec et filtr\u00e9 ; nettoyer r\u00e9guli\u00e8rement les micropores de r\u00e9gulation afin d'\u00e9viter que la poussi\u00e8re n'obstrue le passage de l'air ;
Soutien : maintenir une force uniforme sur les quatre points ; \u00e9viter d'exercer une pression excessive d'un seul c\u00f4t\u00e9 ou une charge d\u00e9centr\u00e9e prolong\u00e9e ;
\u00c9talonnage r\u00e9gulier : V\u00e9rifier \u00e0 nouveau la rectitude et la perpendicularit\u00e9 \u00e0 l'aide d'un interf\u00e9rom\u00e8tre laser tous les trimestres, puis corriger les param\u00e8tres de compensation du syst\u00e8me.
VII. R\u00e9sum\u00e9 des principaux avantages par rapport aux plateformes en fonte ou en aluminium
Fonte : sensible \u00e0 la rouille, forte dilatation thermique, faible amortissement des vibrations, d\u00e9formation sous contrainte \u00e0 long terme ; utilis\u00e9e uniquement pour des mesures approximatives courantes.
Alliage d'aluminium : dilatation thermique extr\u00eamement \u00e9lev\u00e9e, erreur importante due aux variations de temp\u00e9rature ; convient uniquement \u00e0 la manutention l\u00e9g\u00e8re \u00e0 grande vitesse, ne convient pas \u00e0 la m\u00e9trologie.
Granit : thermiquement stable, amortissant les vibrations, ind\u00e9formable, non magn\u00e9tique et r\u00e9sistant \u00e0 l'usure, c'est le seul support de r\u00e9f\u00e9rence pour les mesures d'ultra-pr\u00e9cision.<\/p>\n\n\n\n![\"\"](\"https:\/\/jtlcnc.com\/wp-content\/uploads\/2026\/06\/20260623-100251.png\")
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