Le granit naturel poss\u00e8de une structure polycristalline entrelac\u00e9e avec un grand nombre de micro-interfaces internes. Son coefficient d'amortissement est bien sup\u00e9rieur \u00e0 celui de la fonte et des m\u00e9taux, ce qui lui permet d'absorber rapidement les vibrations de coupe, les impacts de mouvement et les vibrations parasites transmises par le sol ext\u00e9rieur.
L'att\u00e9nuation rapide des vibrations bloque efficacement la transmission des vibrations aux tables de travail, aux lentilles optiques et aux stations de fabrication de gaufrettes ;
Le fonctionnement global de la machine est plus r\u00e9gulier, \u00e9vitant les vibrations, les d\u00e9calages de positionnement et les distorsions de l'imagerie optique, ce qui constitue la garantie essentielle de la \u201cbase silencieuse\u201d de l'\u00e9quipement de pr\u00e9cision.
Valeur de l'application : Les bases principales des machines de lithographie, des plates-formes de mesure des coordonn\u00e9es, des tables d'inspection des plaquettes et des lits d'\u00e9quipement CMP reposent toutes sur le granit pour supprimer les vibrations dans tous les domaines.<\/li>\n\n\n\n
Le granit de pr\u00e9cision (tel que le Jinan Green, le Zhangqiu Black, etc.) a un coefficient de dilatation thermique extr\u00eamement faible, bien sup\u00e9rieur \u00e0 celui des mat\u00e9riaux m\u00e9talliques traditionnels. Dans un environnement d'atelier r\u00e9gulier \u00e0 temp\u00e9rature constante, la d\u00e9formation caus\u00e9e par les fluctuations de temp\u00e9rature est n\u00e9gligeable.
Il \u00e9limine les probl\u00e8mes de dilatation et de contraction thermiques \u00e9videntes des m\u00e9taux, ainsi que les d\u00e9formations locales dues \u00e0 l'accumulation de chaleur ;
Apr\u00e8s un traitement de vieillissement naturel et artificiel en plusieurs \u00e9tapes, les contraintes internes sont compl\u00e8tement rel\u00e2ch\u00e9es. M\u00eame apr\u00e8s des ann\u00e9es ou plus d'une d\u00e9cennie de conditions statiques ou de charges lourdes, la pr\u00e9cision g\u00e9om\u00e9trique globale ne pr\u00e9sente pratiquement pas de fluage, ce qui r\u00e9pond aux exigences de production de masse \u00e0 long terme des semi-conducteurs et des \u00e9quipements de m\u00e9trologie.<\/li>\n\n\n\n
C'est le point fort qui distingue le granit des c\u00e9ramiques de haute duret\u00e9 :
Non limit\u00e9 par les processus de frittage, il peut \u00eatre directement extrait, sci\u00e9 et transform\u00e9 en \u00e9bauches int\u00e9gr\u00e9es \u00e0 l'\u00e9chelle de plusieurs m\u00e8tres pour fabriquer des lits int\u00e9gr\u00e9s de tr\u00e8s grande taille, des bases de portiques, des bases de longs rails de guidage et des plates-formes de r\u00e9f\u00e9rence tr\u00e8s r\u00e9sistantes ;
La structure globale est d\u00e9pourvue d'\u00e9pissures, de soudures ou de combinaisons boulonn\u00e9es, ce qui \u00e9limine les erreurs de pr\u00e9cision caus\u00e9es par les lacunes d'assemblage et les contraintes de connexion \u00e0 la source. La rigidit\u00e9 des structures \u00e0 grande port\u00e9e est compl\u00e8te et tr\u00e8s coh\u00e9rente.<\/li>\n\n\n\n
La structure cristalline dense conf\u00e8re au granit une r\u00e9sistance \u00e9lev\u00e9e \u00e0 la flexion et \u00e0 la compression, avec un poids propre uniform\u00e9ment r\u00e9parti. En tant que squelette porteur de grande taille, il peut supporter \u00e0 long terme le poids propre de l'\u00e9quipement, les charges de la pi\u00e8ce et les contraintes altern\u00e9es des m\u00e9canismes en mouvement. La d\u00e9formation sous de lourdes charges est extr\u00eamement faible, et il ne souffrira pas des probl\u00e8mes de d\u00e9formation par fatigue \u00e0 long terme qui sont courants dans les pi\u00e8ces m\u00e9talliques.<\/li>\n\n\n\n
Le syst\u00e8me technologique de soutien est complet et permet de r\u00e9aliser des conceptions structurelles complexes telles que le fraisage de pr\u00e9cision sur six c\u00f4t\u00e9s, le rainurage, le traitement de syst\u00e8mes \u00e0 trous multiples, les manchons filet\u00e9s pr\u00e9-encastr\u00e9s, les marches irr\u00e9guli\u00e8res et les but\u00e9es de positionnement. Les trous de montage, les fentes de c\u00e2blage et les surfaces de r\u00e9f\u00e9rence d'assemblage sur les grandes bases peuvent tous \u00eatre moul\u00e9s avec pr\u00e9cision en une seule fois, ce qui facilite l'int\u00e9gration globale de la machine et l'assemblage modulaire, avec une faisabilit\u00e9 technique extr\u00eamement forte.<\/li>\n\n\n\n
Le granit naturel est intrins\u00e8quement non magn\u00e9tique et ne g\u00e9n\u00e8re pas d'interf\u00e9rences magn\u00e9tiques, ce qui le rend adapt\u00e9 aux stations de pr\u00e9cision optiques, \u00e9lectroniques et semi-conductrices. Apr\u00e8s le scellement et la protection de la surface, les micropores sont ferm\u00e9s, ce qui permet de r\u00e9pondre aux exigences de propret\u00e9...<\/li>\n<\/ol>\n\n\n\n
II. Principales lacunes et solutions \u00e0 l'appui Dans les domaines haut de gamme tels que les \u00e9quipements pour semi-conducteurs, les machines-outils de pr\u00e9cision, la m\u00e9trologie et les essais, ainsi que les instruments optiques, les grandes bases int\u00e9gr\u00e9es, les plates-formes porteuses et les rep\u00e8res d'isolation des vibrations sont \u00e0 la base de la pr\u00e9cision globale des machines. Avec des avantages complets tels qu'un amortissement \u00e9lev\u00e9, une faible dilatation thermique, une grande rigidit\u00e9, une stabilit\u00e9 dimensionnelle \u00e0 long terme et la capacit\u00e9 d'\u00eatre moul\u00e9 dans des...<\/p>","protected":false},"author":1,"featured_media":2834,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"_seopress_robots_primary_cat":"","_seopress_titles_title":"","_seopress_titles_desc":"","_seopress_robots_index":"","_seopress_analysis_target_kw":"","_kad_blocks_custom_css":"","_kad_blocks_head_custom_js":"","_kad_blocks_body_custom_js":"","_kad_blocks_footer_custom_js":"","_kadence_starter_templates_imported_post":false,"_kad_post_transparent":"","_kad_post_title":"","_kad_post_layout":"","_kad_post_sidebar_id":"","_kad_post_content_style":"","_kad_post_vertical_padding":"","_kad_post_feature":"","_kad_post_feature_position":"","_kad_post_header":false,"_kad_post_footer":false,"_kad_post_classname":"","footnotes":""},"categories":[35],"tags":[],"class_list":["post-2833","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-news"],"taxonomy_info":{"category":[{"value":35,"label":"NEWS"}]},"featured_image_src_large":["https:\/\/jtlcnc.com\/wp-content\/uploads\/2026\/05\/\u5fae\u4fe1\u56fe\u7247_20260528162607_2_45.png",759,789,false],"author_info":{"display_name":"jinxing6611@gmail.com","author_link":"https:\/\/jtlcnc.com\/fr\/author\/jtlcnc\/"},"comment_info":0,"category_info":[{"term_id":35,"name":"NEWS","slug":"news","term_group":0,"term_taxonomy_id":35,"taxonomy":"category","description":"","parent":0,"count":220,"filter":"raw","cat_ID":35,"category_count":220,"category_description":"","cat_name":"NEWS","category_nicename":"news","category_parent":0}],"tag_info":false,"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2833","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=2833"}],"version-history":[{"count":1,"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2833\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":2835,"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2833\/revisions\/2835"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/media\/2834"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=2833"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=2833"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=2833"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}
Le granit n'est pas un mat\u00e9riau universel. Lorsqu'il est utilis\u00e9 comme cadre \u00e0 grande \u00e9chelle, ses d\u00e9fauts doivent \u00eatre sp\u00e9cifiquement \u00e9vit\u00e9s :
Duret\u00e9 mod\u00e9r\u00e9e, facilement rayable par des pi\u00e8ces dures
Solution : Meulage fin et polissage du rev\u00eatement protecteur de la surface de travail, associ\u00e9 \u00e0 des paires de rails de guidage en acier\/c\u00e9ramique dans les zones de glissement cl\u00e9s, utilis\u00e9es dans des applications par zones.
Pr\u00e9sence de pores microscopiques, propices \u00e0 l'infiltration de liquides
Solution : Appliquer un mastic p\u00e9n\u00e9trant sur le produit fini pour isoler les fluides de coupe et la vapeur d'eau, en emp\u00eachant l'absorption et la dilatation de l'eau.
Plus fragile que les m\u00e9taux, les chocs violents sont strictement interdits
Solution : Optimiser la disposition des \u00e9quipements, ajouter des structures de protection autour de la base et utiliser des outils flexibles pour le levage et le transport afin d'\u00e9viter les bosses et les coins \u00e9br\u00e9ch\u00e9s.
Stabilit\u00e9 thermique inf\u00e9rieure \u00e0 celle des c\u00e9ramiques de haute puret\u00e9
Solution : Associer localement des stations de pr\u00e9cision essentielles \u00e0 de petits composants en c\u00e9ramique et g\u00e9rer l'ensemble de la machine dans un atelier \u00e0 temp\u00e9rature constante afin de tirer parti des points forts et d'\u00e9viter les faiblesses.
III. Sc\u00e9narios d'application typiques (cat\u00e9gorie des cadres \u00e0 grande \u00e9chelle)
\u00c9quipements semi-conducteurs haut de gamme
Bases g\u00e9n\u00e9rales pour les machines de lithographie EUV\/ArF, grandes plates-formes pour les \u00e9quipements d'inspection des plaquettes, bases principales pour les implanteurs d'ions et lits porteurs pour les \u00e9quipements d'emballage et de collage. S'appuyant sur un moulage int\u00e9gral de grande taille, les capacit\u00e9s d'isolation des vibrations sont importantes pour garantir une pr\u00e9cision de positionnement de l'ordre du nanom\u00e8tre.
M\u00e9trologie et inspection de pr\u00e9cision
Grandes plates-formes d'inspection en granit, \u00e9talons \u00e0 angle droit ultra-longs, bases globales pour les machines \u00e0 mesurer tridimensionnelles \u00e0 pont et tables de r\u00e9f\u00e9rence pour les interf\u00e9rom\u00e8tres laser, servant de cadre de r\u00e9f\u00e9rence pour le transfert des quantit\u00e9s g\u00e9om\u00e9triques.
\u00c9quipement d'usinage de pr\u00e9cision
Grandes fraiseuses \u00e0 portique, bancs de meulage et bases de rails de guidage ultra-longs, \u00e9quilibrant les charges lourdes, la r\u00e9sistance aux vibrations et la pr\u00e9cision des mouvements.
Mat\u00e9riel optique et de laboratoire
Plates-formes optiques, tables de laboratoire de pr\u00e9cision et bases d'instruments astronomiques, isolant les vibrations externes pour assurer la stabilit\u00e9 des chemins optiques et des syst\u00e8mes exp\u00e9rimentaux.
IV. Positionnement Diff\u00e9renciation par rapport aux c\u00e9ramiques de haute duret\u00e9 et \u00e0 la fonte
Granit de pr\u00e9cision : Principalement utilis\u00e9 pour les bases\/plates-formes\/ch\u00e2ssis complets de grande taille et \u00e0 forte charge, agissant comme le \u201ccadre principal\u201d de l'\u00e9quipement. Il privil\u00e9gie la stabilit\u00e9, la taille et la fiabilit\u00e9 \u00e0 long terme, offre un bon rapport qualit\u00e9-prix et constitue le choix le plus courant pour les grands \u00e9quipements de pr\u00e9cision.
C\u00e9ramiques structurelles de haute duret\u00e9 : Principalement utilis\u00e9es pour les petites pi\u00e8ces \u00e0 cavit\u00e9 interne, les pi\u00e8ces de frottement de mouvement et les pi\u00e8ces \u00e0 haute temp\u00e9rature\/plasma, agissant comme \u201cpetites pi\u00e8ces fonctionnelles de pr\u00e9cision\u201d de l'\u00e9quipement. Elle privil\u00e9gie l'extr\u00eame pr\u00e9cision, la r\u00e9sistance \u00e0 la corrosion et \u00e0 l'usure, mais ne peut pas \u00eatre transform\u00e9e en structures int\u00e9grales \u00e0 grande \u00e9chelle.
Fonte : Lits traditionnels \u00e0 usage g\u00e9n\u00e9ral, peu co\u00fbteux mais pr\u00e9sentant des vibrations \u00e9lev\u00e9es et une d\u00e9formation thermique importante. Utilis\u00e9e uniquement pour les \u00e9quipements de pr\u00e9cision ordinaires, elle est progressivement remplac\u00e9e par le granit dans les domaines de pr\u00e9cision haut de gamme.
V. R\u00e9sum\u00e9
Pour les grandes bases, les plates-formes porteuses et les normes d'isolation des vibrations qui n\u00e9cessitent de grandes port\u00e9es, de lourdes charges, une forte isolation des vibrations et une stabilit\u00e9 de pr\u00e9cision \u00e0 long terme, le granit de pr\u00e9cision est un mat\u00e9riau d'armature irrempla\u00e7able. Il soutient la structure globale de l'\u00e9quipement gr\u00e2ce \u00e0 sa capacit\u00e9 de moulage int\u00e9gral de grande taille, supprime les interf\u00e9rences vibratoires gr\u00e2ce \u00e0 un amortissement \u00e9lev\u00e9, maintient la pr\u00e9cision \u00e0 long terme gr\u00e2ce \u00e0 une faible dilatation et \u00e0 une faible contrainte, et s'adapte aux exigences d'assemblage complexes gr\u00e2ce \u00e0 des processus matures.
Supporter le poids de l'ensemble de la machine \u00e0 l'ext\u00e9rieur, maintenir la pr\u00e9cision de r\u00e9f\u00e9rence \u00e0 l'int\u00e9rieur, isoler les interf\u00e9rences environnementales \u00e0 l'ext\u00e9rieur et assurer un fonctionnement sans heurts \u00e0 l'int\u00e9rieur - telle est la valeur fondamentale du granit de pr\u00e9cision en tant que cadre stable et lourd pour l'\u00e9quipement de pr\u00e9cision haut de gamme.<\/p>\n\n\n\n![\"\"](\"https:\/\/jtlcnc.com\/wp-content\/uploads\/2026\/05\/\u5fae\u4fe1\u56fe\u7247_20260528162607_2_45.png\")
<\/figure>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"