{"id":2126,"date":"2026-03-16T09:01:05","date_gmt":"2026-03-16T01:01:05","guid":{"rendered":"https:\/\/jtlcnc.com\/?p=2126"},"modified":"2026-03-16T09:01:07","modified_gmt":"2026-03-16T01:01:07","slug":"what-are-the-specific-application-cases-of-natural-granite-as-the-preferred-material-for-semiconductor-inspection-platforms","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/jtlcnc.com\/fr\/2026\/03\/16\/what-are-the-specific-application-cases-of-natural-granite-as-the-preferred-material-for-semiconductor-inspection-platforms\/","title":{"rendered":"Quels sont les cas d'application sp\u00e9cifiques du granit naturel en tant que mat\u00e9riau privil\u00e9gi\u00e9 pour les plates-formes d'inspection des semi-conducteurs ?"},"content":{"rendered":"

Le granit naturel est le mat\u00e9riau structurel pr\u00e9f\u00e9r\u00e9 pour les plates-formes d'inspection des semi-conducteurs, avec de nombreuses applications matures dans l'inspection par frottement, l'inspection optique, la mesure CMM, l'inspection AOI\/rayons X, les stations de palpage et l'\u00e9quipement de m\u00e9trologie. Les exemples suivants sont des cas industriels sp\u00e9cifiques et v\u00e9rifiables :<\/p>\n\n\n\n

I. \u00c9quipement de surveillance et de m\u00e9trologie (sc\u00e9nario de base)<\/p>\n\n\n\n

    \n
  1. Plates-formes d'inspection optique automatique (AOI) des wafers
    Applications : Inspection des d\u00e9fauts de surface des plaquettes, des particules, de l'\u00e9paisseur du film, de la largeur de ligne.
    Cas :
    Les machines d'inspection de wafers d'AMEC et de Shanghai Micro Electronics Equipment (SMEE) utilisent des bases en granit Jinan Blue \/ Mount Tai Blue avec une plan\u00e9it\u00e9 de 0,05\u03bcm\/m.
    Les plates-formes en granit de Xiamen Jinshi Precision d\u00e9tiennent une part de march\u00e9 d'environ 19% dans l'\u00e9quipement d'inspection des plaquettes, \u00e9quip\u00e9 d'un positionnement par adsorption sous vide adapt\u00e9 aux plaquettes de 8\/12 pouces.
    La plateforme ultra-large de Furuihua (6000mm\u00d72000mm) est utilis\u00e9e dans les lignes de production de plaquettes de 12 pouces, maintenant la stabilit\u00e9 de la plan\u00e9it\u00e9 \u00e0 0,0008mm pendant trois ann\u00e9es cons\u00e9cutives.<\/li>\n\n\n\n
  2. Stations de sondes (Prober) et applications de test de plaquettes : Test des param\u00e8tres \u00e9lectriques au niveau de la plaquette, positionnement des cartes de sonde et d\u00e9tection du rendement des puces.
    Cas :
    Les stations de sonde haut de gamme Advantest et Teradyne sont dot\u00e9es de plates-formes et de bases de pr\u00e9cision en granit avec un coefficient de dilatation thermique aussi bas que 4,6\u00d710-\u2076\/\u2103, garantissant un positionnement de la sonde au niveau du micron.
    Des fabricants nationaux comme Changchuan Tenology et Hua Feng Test & Control utilisent des lits de machine en granit avec des taux d'amortissement des vibrations de 95%, ce qui am\u00e9liore la r\u00e9p\u00e9tabilit\u00e9 des essais.<\/li>\n\n\n\n
  3. Machines \u00e0 mesurer tridimensionnelles et plates-formes de m\u00e9trologie de pr\u00e9cision
    Applications : Inspection dimensionnelle en 3D de composants de semi-conducteurs, de montages, de moules et d'enveloppes d'emballage.
    Cas :
    S\u00e9rie Hexagon XPERT : Granit int\u00e9gral pr\u00e9cision de mesure proche de 0,5\u03bcm, utilis\u00e9 pour l'inspection au niveau submicronique des composants semi-conducteurs.
    Zeiss CONTURA G2 : Axe Z d'un rail de guidage en granit de 2,5 m\u00e8tres avec une erreur de rectitude <1\u03bcm \u00e0 1 m\u00e8tre pr\u00e8s.
    Les mod\u00e8les courants des fabricants nationaux de MMT (tels que Sino Measuring et Edward) sont \u00e9quip\u00e9s de plates-formes en granit, adapt\u00e9es aux salles blanches des semi-conducteurs.<\/li>\n<\/ol>\n\n\n\n

    II. \u00c9quipement d'inspection haut de gamme (lithographie, rayons X, inspection au laser)<\/p>\n\n\n\n

      \n
    1. Plateformes d'alignement et d'inspection de la lithographie
      Applications : Alignement des machines de lithographie, inspection des masques et mesure de la pr\u00e9cision du recouvrement des plaquettes.
      Cas :
      \u00c9tapes de la machine de lithographie du processus 3nm\/5nm : Utiliser l'adsorption sous vide avec une rugosit\u00e9 de surface Ra\u22640,05\u03bcm, en contr\u00f4lant la d\u00e9formation thermique au niveau du nanom\u00e8tre.
      Rapport SEMI : Dans les usines chinoises de 12 pouces d'\u00e9paisseur, 78%<\/strong> des stations d'alignement et d'inspection de la lithographie sp\u00e9cifient des plates-formes en granit.<\/li>\n\n\n\n
    2. Plates-formes d'inspection par rayons X et par tomographie assist\u00e9e par ordinateur
      Applications : Inspection des d\u00e9fauts internes des puces, des joints BGA slder et des courts-circuits entre les couches dans l'emballage.
      Cas :
      Les machines d'inspection par rayons X de Rayence et Zhaomao Technology utilisent des plates-formes de roulement en granit pour garantir des relations g\u00e9om\u00e9triques stables entre la source de tation et le d\u00e9tecteur, \u00e9vitant ainsi toute distorsion de l'image.
      Les plates-formes en granit peuvent \u00eatre prot\u00e9g\u00e9es contre les interf\u00e9rences \u00e9lectromagn\u00e9tiques partielles, ce qui am\u00e9liore le rapport signal\/bruit de l'imagerie radiographique.<\/li>\n\n\n\n
    3. Interf\u00e9rom\u00e8tres laser et plates-formes optiques
      Applications : \u00c9talonnage au niveau du nanom\u00e8tre de la plan\u00e9it\u00e9, de la rectitude, des angles et des d\u00e9placements.
      Cas :
      Les interf\u00e9rom\u00e8tres laser Renishaw et Agilent sont associ\u00e9s \u00e0 des optiques en granit qui offrent une meilleure stabilit\u00e9 thermique que le m\u00e9tal et conviennent \u00e0 l'\u00e9talonnage en laboratoire et en ligne de production.
      La plate-forme composite en \u201cfibre de carbone granitique\u201d de Shanghai Leishuo Precision r\u00e9duit la taille de 30% sans sacrifier la pr\u00e9cision. Elle est utilis\u00e9e pour l'inspection optique haut de gamme.<\/li>\n<\/ol>\n\n\n\n

      III. Plateformes d'emballage et d'inspection en aval<\/p>\n\n\n\n

        \n
      1. Inspection visuelle des emballages (AOI\/3D)
        Applications : Apparence des puces, plomb, placement des billes et inspection du marquage
        \u00c9tudes de cas :
        Les lignes d'emballage de JCET et de Tongfu Microelectronics adoptent des plateformes en granit comme bases d'inspection par vision avec un flaess \u22640,003mm\/m, ce qui garantit la pr\u00e9cision de l'acquisition des images.<\/li>\n\n\n\n
      2. Base de la machine \u00e0 d\u00e9couper \/ de la machine \u00e0 couper
        Applications : Positionnement de pr\u00e9cision pour la d\u00e9coupe, l'amincissement et le d\u00e9coupage des tranches de silicium \u00c9tudes de cas :
        Les ch\u00e2ssis des machines \u00e0 d\u00e9couper Disco utilisent du granit monolithique, offrant un amortissement des vibrations sup\u00e9rieur \u00e0 la fonte, avec une pr\u00e9cision de coupe atteignant \u00b11\u03bcm.<\/li>\n<\/ol>\n\n\n\n

        IV. Mat\u00e9riaux typiques et sp\u00e9cifications de pr\u00e9cision (r\u00e9f\u00e9rences industrielles)
        Pierres courantes : Jinan Green, Mount Tai Green, Wulian Red, Fujian G654, Sichuan Ya'an Black, Slack Granite
        Pr\u00e9cision de base :
        Plan\u00e9it\u00e9 : 0,001-0,05\u03bcm\/m (Grade 000 \/ Grade 00) rugosit\u00e9 : Ra\u22640.005-0.05\u03bcm (Miroir \/ Qualit\u00e9 optique)
        Coefficient de dilatation thermique : -\u2076\/\u2103 (Environ 1\/20\u00e8me de l'acier)
        Amortissement des vibrations : 5 \u00e0 10 fois sup\u00e9rieur \u00e0 celui de la fonte<\/p>\n\n\n\n

        V. Principaux fournisseurs nationaux et clients de r\u00e9f\u00e9rence
        Furuihua : Au service de SMIC et de Yangtze Memory Technologies, avec des plates-formes ultra-larges (6m\u00d72m) utilis\u00e9es dans la production de 12 pouces.
        Xiamen Jinshi Precision : Environ 19% de part de march\u00e9 dans l'\u00e9quipement d'inspection des plaquettes, \u00e9quip\u00e9 de la technologie d'adsorption sous vide.
        Shanghai Jingshi \/ Leishuo : au service d'Adnced Micro-Fabrication Equipment (AMEC) et de Shanghai Micro Electronics, principaux fournisseurs d'\u00e9quipements pour semi-conducteurs dans le delta du fleuve Yangtze.
        Kesite : 3m\u00d7tforms atteignent le grade 00, desservant les principaux laboratoires nationaux et les lignes de production de semi-conducteurs.<\/p>\n\n\n\n

        R\u00e9sum\u00e9 :
        Le granit naturel, avec son extr\u00eame stabilit\u00e9, sa faible dilatation, son amortissement \u00e9lev\u00e9 et sa haute r\u00e9sistance, est devenu le mat\u00e9riau irrempla\u00e7able de choix pour les plates-formes d'inspection des semi-conducteurs, couvrant l'ensemble du processus d'inspection de pr\u00e9cision, du front-end des wafers \u00e0 l'emballage.<\/p>\n\n\n\n

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        Natural granite is the preferred structural material for semiconductor inspection platforms, with extensive mature applications in wafe inspection, optical inspection, CMM measurement, AOI\/X-ray inspection, probe stations, and metrology equipment. The following are specific, verifiable industry cases: I. Wafespection and Metrology Equipment (Core Scenario) II. High-End Inspection Equipment (Lithography, X-ray, Laser Inspection) III. Packaging and Back-end…<\/p>","protected":false},"author":1,"featured_media":2129,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"_seopress_robots_primary_cat":"none","_seopress_titles_title":"","_seopress_titles_desc":"","_seopress_robots_index":"","_kad_blocks_custom_css":"","_kad_blocks_head_custom_js":"","_kad_blocks_body_custom_js":"","_kad_blocks_footer_custom_js":"","_kadence_starter_templates_imported_post":false,"_kad_post_transparent":"","_kad_post_title":"","_kad_post_layout":"","_kad_post_sidebar_id":"","_kad_post_content_style":"","_kad_post_vertical_padding":"","_kad_post_feature":"","_kad_post_feature_position":"","_kad_post_header":false,"_kad_post_footer":false,"_kad_post_classname":"","footnotes":""},"categories":[35],"tags":[],"class_list":["post-2126","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-news"],"taxonomy_info":{"category":[{"value":35,"label":"NEWS"}]},"featured_image_src_large":["https:\/\/jtlcnc.com\/wp-content\/uploads\/2026\/03\/\u5fae\u4fe1\u56fe\u7247_20260311091538_2_11.jpg",707,707,false],"author_info":{"display_name":"jinxing6611@gmail.com","author_link":"https:\/\/jtlcnc.com\/fr\/author\/jtlcnc\/"},"comment_info":0,"category_info":[{"term_id":35,"name":"NEWS","slug":"news","term_group":0,"term_taxonomy_id":35,"taxonomy":"category","description":"","parent":0,"count":119,"filter":"raw","cat_ID":35,"category_count":119,"category_description":"","cat_name":"NEWS","category_nicename":"news","category_parent":0}],"tag_info":false,"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2126","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=2126"}],"version-history":[{"count":1,"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2126\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":2130,"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2126\/revisions\/2130"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/media\/2129"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=2126"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=2126"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=2126"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}