000 Grade Granite Air Bearing Platform Equipement typique appropriéI. Équipement haut de gamme pour semi-conducteurs et panneaux (domaine principal)Équipement de lithographie Plates-formes d'alignement de lithographieMachines d'inspection de plaquettes de silicium, machines d'exposition de plaquettes de siliciumMachines d'inspection de plaquettes de silicium (domaine principal)
I. Principes fondamentaux et composition structurellePrincipe de fonctionnement : de l'air propre à haute pression est pulvérisé à travers le graphite poreux/les étranglements pour former un film d'air uniforme de 5 à 15 μm.
I. Définitions et fonctions essentiellesLa base en granit (table de travail, portique, colonne) de la MMT sert de référence absolue pour les mesures, en établissant un système de coordonnées tridimensionnel stable, en soutenant les mesures et en assurant la sécurité de l'utilisateur.
I. Sélection du matériau (détermine s'il y aura des fissures et sa stabilité)Types de matériauxPriorité:Vert de Jinan, Noir de Zhangqiu (grain fin, uniforme, meilleure stabilité)Points clés de l'acceptation (à lire absolument pour l'approvisionnement)Pas de fissures, pas de fissures, pas de fissures, pas de fissures, pas de fissures, pas de fissures, pas de fissures...).
I. Prévention à la source : Choisir le bon matériau et utiliser le bon procédé (le plus critique)Choix du matériauPrioriser le granit à grain fin avec peu de fissures et de couches, tel que le Jinan
Les facteurs affectant la coaxialité des machines à mesurer tridimensionnelles (MMT) se résument essentiellement à : un axe imprécis, des pièces instables, l'imprécision de la machine, un environnement instable et des méthodes inappropriées. I
Les plates-formes et les composants en granit de précision évoluent dans cinq directions principales : la haute précision, l'intégration, l'intelligence, l'écologie et la servitisation. La force motrice principale est la
I. Matériau et stabilité à long termeVieillissement naturel, contraintes internes extrêmement faibles : Le granit de haute qualité (s Jinan Black) subit un vieillissement géologique sur des centaines de millions d'années, en libérant
L'inspection des erreurs de planéité des plates-formes en granit doit être effectuée en priorité conformément à la norme GB/T 20428-2006 “Rock Slabs ”*. Les méthodes courantes comprennent le niveau électronique
I. Exigences en matière d'emballage (expédition / transport à longue distance) II. Exigences en matière de stockage (entrepôt / stockage sur site) IHandling and Lifting PrecautionsMust use the original design lifting holes /
