(1) Base de la plataforma de la m\u00e1quina de litograf\u00eda EUV\/DUV
La base portante principal de toda la m\u00e1quina, que soporta la plataforma con cojinetes de aire en los ejes X e Y, las escalas de rejilla y los sistemas de interferometr\u00eda l\u00e1ser; el granito a\u00edsla las vibraciones del taller y compensa la deformaci\u00f3n t\u00e9rmica del equipo, lo que permite un posicionamiento de las obleas mediante el m\u00e9todo \u00abstep-and-scan\u00bb con una precisi\u00f3n de 0,1 nm, lo que la convierte en un componente esencial para las m\u00e1quinas de litograf\u00eda de procesos avanzados.
(2) Base de escritura directa por l\u00e1ser \/ litograf\u00eda por haz de electrones (EBL)
La litograf\u00eda por haz de electrones es extremadamente sensible a las vibraciones y a la electricidad est\u00e1tica: las propiedades aislantes del granito evitan la dispersi\u00f3n del haz de electrones, y la fuerte amortiguaci\u00f3n suprime las vibraciones del motor, lo que permite la grabaci\u00f3n de patrones de circuitos micro y nanom\u00e9tricos de menos de 10 nm.
(3) Plataforma de posicionamiento para equipos de recubrimiento y revelado
Sujeta los portadoras de obleas para garantizar un recubrimiento uniforme, lo que elimina las irregularidades en el espesor del fotorresistente de litograf\u00eda provocadas por la deformaci\u00f3n de la mesa y, de este modo, mejora el rendimiento de la exposici\u00f3n.<\/li>\n\n\n\n
(1) M\u00e1quina de corte de obleas \/ Base de la cortadora
Los husillos de corte de diamante de alta velocidad generan vibraciones intensas, que el granito absorbe r\u00e1pidamente; la planitud a nivel de micras permite la fijaci\u00f3n plana de obleas de 6\/8\/12 pulgadas, lo que reduce significativamente el astillamiento del filo de corte y los defectos de desalineaci\u00f3n, mejorando el rendimiento de las virutas en m\u00e1s de un 10%.
(2) Plataforma de pulido qu\u00edmico-mec\u00e1nico (CMP)
Bajo una elevada presi\u00f3n de pulido y una fricci\u00f3n continua, la gran rigidez del granito evita la deformaci\u00f3n, lo que garantiza la planitud global de la oblea y evita el pulido excesivo o insuficiente en zonas concretas de las obleas de silicio.
(3) Plataforma de carga para equipos de grabado y deposici\u00f3n de capas finas
Al tratarse de un punto de referencia de movimiento de precisi\u00f3n dentro de la c\u00e1mara de vac\u00edo, es resistente a la corrosi\u00f3n y no presenta precipitaciones met\u00e1licas, lo que lo hace adecuado para entornos de vac\u00edo de alta pureza.<\/li>\n\n\n\n
(1) Base de inspecci\u00f3n \u00f3ptica de defectos (AOI) e inspecci\u00f3n por haz de electrones (EBI)
Es compatible con lentes \u00f3pticas de alta precisi\u00f3n y plataformas de desplazamiento; incluso las vibraciones m\u00e1s leves pueden provocar que la imagen se vea borrosa y que se interpreten err\u00f3neamente los defectos. Como mesa de referencia, el granito estabiliza el punto de referencia de la imagen.
(2) 3D Profiler \/ Plataforma de medici\u00f3n del espesor de pel\u00edculas<\/li>\n\n\n\n
Base del bonder y del bonder de hilos: precisi\u00f3n en el posicionamiento de los puntos de microsoldadura del chip de \u00b11 \u03bcm; la amortiguaci\u00f3n de vibraciones mediante granito evita el desplazamiento durante la uni\u00f3n, lo que reduce la tasa de defectos por desplazamiento de 0,31 TP3T a 0,011 TP3T;
Base para equipos de flip chip y uni\u00f3n: baja deformaci\u00f3n t\u00e9rmica en condiciones de uni\u00f3n a alta temperatura, lo que garantiza una alineaci\u00f3n precisa entre el chip y el sustrato;
Plataforma de inspecci\u00f3n visual tras el envasado: referencia estable para la inspecci\u00f3n visual de componentes envasados en serie.<\/li>\n\n\n\n
La placa de granito que aparece en tu foto, con inserciones de cobre y orificios roscados para su fijaci\u00f3n, es precisamente la base de una plataforma de movimiento con cojinetes neum\u00e1ticos:
Los equipos de semiconductores utilizan ampliamente gu\u00edas con cojinetes de aire para lograr un movimiento ultrapreciso y sin fricci\u00f3n, y las plataformas con cojinetes de aire deben instalarse sobre bases de granito; si la base se deforma ligeramente, el espacio entre los cojinetes de aire se desequilibra, lo que provoca directamente un fallo en el posicionamiento. El granito proporciona una referencia de montaje absolutamente plana y estable, adecuada para la instalaci\u00f3n preintegrada de motores lineales, escalas de rejilla y sensores de fin de carrera.<\/li>\n<\/ol>\n\n\n\n
III. Requisitos t\u00edpicos del proceso para las bases de granito espec\u00edficas para semiconductores Aplicaciones completas de las bases de precisi\u00f3n de granito en la industria de los semiconductores. I. Ventajas fundamentales del granito como material para las bases en la fabricaci\u00f3n de semiconductores. Los procesos de fabricaci\u00f3n de semiconductores alcanzan una precisi\u00f3n a nivel nanom\u00e9trico, lo que exige unos est\u00e1ndares extremadamente rigurosos en cuanto a la deformaci\u00f3n t\u00e9rmica, la vibraci\u00f3n, la planitud y la compatibilidad de la base con las salas blancas. El granito negro natural (Jinan Green \/ Indian Black) es la alternativa \u00f3ptima al metal, al hierro fundido y\u2026<\/p>","protected":false},"author":1,"featured_media":3085,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"_seopress_titles_title":"","_seopress_titles_desc":"","_seopress_robots_index":"","_seopress_robots_follow":"","_seopress_robots_imageindex":"","_seopress_robots_snippet":"","_seopress_robots_primary_cat":"","_seopress_robots_breadcrumbs":"","_seopress_robots_freeze_modified_date":"","_seopress_robots_custom_modified_date":"","_seopress_robots_canonical":"","_seopress_social_fb_title":"","_seopress_social_fb_desc":"","_seopress_social_fb_img":"","_seopress_social_fb_img_attachment_id":0,"_seopress_social_fb_img_width":0,"_seopress_social_fb_img_height":0,"_seopress_social_twitter_title":"","_seopress_social_twitter_desc":"","_seopress_social_twitter_img":"","_seopress_social_twitter_img_attachment_id":0,"_seopress_social_twitter_img_width":0,"_seopress_social_twitter_img_height":0,"_seopress_redirections_value":"","_seopress_redirections_enabled":"","_seopress_redirections_enabled_regex":"","_seopress_redirections_logged_status":"","_seopress_redirections_param":"","_seopress_redirections_type":0,"_seopress_analysis_target_kw":"","_kad_blocks_custom_css":"","_kad_blocks_head_custom_js":"","_kad_blocks_body_custom_js":"","_kad_blocks_footer_custom_js":"","_kadence_starter_templates_imported_post":false,"_kad_post_transparent":"","_kad_post_title":"","_kad_post_layout":"","_kad_post_sidebar_id":"","_kad_post_content_style":"","_kad_post_vertical_padding":"","_kad_post_feature":"","_kad_post_feature_position":"","_kad_post_header":false,"_kad_post_footer":false,"_kad_post_classname":"","footnotes":""},"categories":[35],"tags":[],"class_list":["post-3084","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-news"],"taxonomy_info":{"category":[{"value":35,"label":"NEWS"}]},"featured_image_src_large":["https:\/\/jtlcnc.com\/wp-content\/uploads\/2026\/07\/\u5fae\u4fe1\u56fe\u7247_20260711094353_52_25-1024x592.png",1024,592,true],"author_info":{"display_name":"jinxing6611@gmail.com","author_link":"https:\/\/jtlcnc.com\/es\/author\/jtlcnc\/"},"comment_info":0,"category_info":[{"term_id":35,"name":"NEWS","slug":"news","term_group":0,"term_taxonomy_id":35,"taxonomy":"category","description":"","parent":0,"count":362,"filter":"raw","cat_ID":35,"category_count":362,"category_description":"","cat_name":"NEWS","category_nicename":"news","category_parent":0}],"tag_info":false,"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/es\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/3084","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/es\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/es\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/es\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/es\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=3084"}],"version-history":[{"count":1,"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/es\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/3084\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":3086,"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/es\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/3084\/revisions\/3086"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/es\/wp-json\/wp\/v2\/media\/3085"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/es\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=3084"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/es\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=3084"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/es\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=3084"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}
Material: granito negro de alta densidad (Jinan Green \/ Indian Black) seleccionado, sin grietas ni poros sueltos;
Grado de precisi\u00f3n: grado 00\/000, planitud de 0,5 a 1 \u03bcm\/m, perpendicularidad y paralelismo a nivel microm\u00e9trico;
Estructura mecanizada: manguitos roscados de acero inoxidable empotrados, gu\u00edas de deslizamiento resistentes al desgaste con incrustaciones de cobre, ranuras de succi\u00f3n al vac\u00edo, avellanados para el posicionamiento de las obleas y ranuras para el cableado (que se ajustan perfectamente a la estructura de su imagen);
Tratamiento superficial: Acabado espejo de pulido fino, sin precipitaci\u00f3n de polvo; se ofrecen sellado al vac\u00edo y tratamiento antiest\u00e1tico;
Compatibilidad con salas blancas: Limpieza sin polvo y tratamiento de pasivaci\u00f3n antes del env\u00edo; compatible con salas blancas de clase 100\/1000.<\/p>\n\n\n\n![\"\"](\"https:\/\/jtlcnc.com\/wp-content\/uploads\/2026\/07\/\u5fae\u4fe1\u56fe\u7247_20260711094353_52_25-1024x592.png\")
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