M\u00e1quinas de grabado \/ deposici\u00f3n: Revestimientos de Al\u2082O\u2083 de gran pureza, duchas de gas, anillos de enfoque, anillos de aislamiento, resistentes a la corrosi\u00f3n por plasma, baja contaminaci\u00f3n.
Mesas de trabajo de m\u00e1quinas litogr\u00e1ficas \/ Micro-mesas de movimiento: Cer\u00e1mica SiC, baja expansi\u00f3n t\u00e9rmica, alta conductividad t\u00e9rmica, peso ligero, que garantiza la estabilidad de movimiento a nivel nanom\u00e9trico.
Transferencia de obleas: Brazos cer\u00e1micos de Si\u2083N\u2084, platos electrost\u00e1ticos (ESC), platos de succi\u00f3n al vac\u00edo, antiest\u00e1ticos, resistentes al desgaste, sin desprendimiento de part\u00edculas.
Tratamiento t\u00e9rmico \/ Epitaxia: Placas calefactoras cer\u00e1micas, crisoles, piezas aislantes, estabilidad a largo plazo a 1000\u2103 .
Implantaci\u00f3n de iones: Soportes aislantes, piezas de aislamiento de alta tensi\u00f3n, alto aislamiento, resistentes a la alta tensi\u00f3n, resistentes a la pulverizaci\u00f3n cat\u00f3dica.<\/li>\n<\/ol>\n\n\n\n
- \n
- Granito de precisi\u00f3n: La elecci\u00f3n preferida para grandes bases, plataformas y referencias de aislamiento de vibraciones.<\/li>\n<\/ol>\n\n\n\n
Base de la m\u00e1quina principal de litograf\u00eda (EUV\/ArF): Tama\u00f1o ultra grande, alta rigidez, fuerte amortiguaci\u00f3n de vibraciones, a\u00edsla las vibraciones del suelo, asegura el posicionamiento a nivel nanom\u00e9trico.
Equipos de inspecci\u00f3n \/ metrolog\u00eda de obleas: MMC, instrumentos de inspecci\u00f3n \u00f3ptica, plataformas de interfer\u00f3metro l\u00e1ser, alta planitud, estabilidad a largo plazo.
Bancada \/ carriles gu\u00eda de equipos CMP: Carga pesada, baja vibraci\u00f3n, buena estabilidad t\u00e9rmica, garantiza la uniformidad del pulido.
Base para equipos de pegado\/envasado: Suprime las vibraciones, mejora la precisi\u00f3n de pegado y el rendimiento.<\/p>\n\n\n\nIII. Diferencias en el mecanizado y el ensamblaje (aspectos relacionados con la producci\u00f3n en serie de semiconductores)
Cer\u00e1mica de alta dureza
Mecanizado: S\u00f3lo esmerilado \/ pulido con diamante; taladrado, roscado y cavidades complejas son extremadamente dif\u00edciles y caros.
Montaje: Principalmente insertos met\u00e1licos preincrustados, fijaci\u00f3n flexible, resistente a los golpes, adecuado para el montaje de precisi\u00f3n de piezas peque\u00f1as y medianas.
Ventajas: Limpio, sin rebabas, sin desprendimiento de part\u00edculas, sin contaminaci\u00f3n de las obleas.
Granito de precisi\u00f3n
Mecanizado: Procesos totalmente maduros para serrar, fresar, rectificar, taladrar y roscar; capaz de pasos complejos, sistemas de agujeros y piezas incrustadas.
Montaje: Roscado directo, instalaci\u00f3n de manguitos roscados, conexi\u00f3n r\u00edgida, alta tolerancia a fallos, adecuado para la integraci\u00f3n estructural a gran escala.
Limitaciones: Los microporos atrapan f\u00e1cilmente la suciedad; requiere un sellado\/revestimiento de la superficie para cumplir los requisitos de las salas limpias.
IV. Recomendaciones sobre costes y selecci\u00f3n
Coste
Cer\u00e1mica: Materias primas caras de mecanizar; coste elevado para piezas peque\u00f1as y medianas de alta precisi\u00f3n.
Granito: Alta relaci\u00f3n coste-rendimiento; el coste de las piezas grandes es muy inferior al de la cer\u00e1mica, adecuado para equipos fabricados en serie.
Gu\u00eda de selecci\u00f3n (Escenarios de semiconductores)
\u2705 Dar prioridad a la cer\u00e1mica de alta dureza
Componentes internos de c\u00e1maras de grabado\/deposici\u00f3n\/implantaci\u00f3n i\u00f3nica (resistentes al plasma, baja contaminaci\u00f3n);
Mesas de trabajo de m\u00e1quinas litogr\u00e1ficas \/ etapas de micromovimiento, brazos de transferencia de obleas, mandriles electrost\u00e1ticos (baja expansi\u00f3n t\u00e9rmica, alta conductividad t\u00e9rmica, resistentes al desgaste);
Condiciones de alta temperatura \/ ciclos t\u00e9rmicos (tratamiento t\u00e9rmico, epitaxia);
Alto vac\u00edo \/ entornos ultralimpios (sin desgasificaci\u00f3n ni desprendimiento de part\u00edculas).
\u2705 Dar prioridad al granito de precisi\u00f3n
Grandes bastidores \/ camas \/ plataformas para m\u00e1quinas de litograf\u00eda, m\u00e1quinas de inspecci\u00f3n y CMP (tama\u00f1o ultra grande, fuerte amortiguaci\u00f3n de vibraciones, alta rigidez);
Equipos de medici\u00f3n de precisi\u00f3n sensibles a las vibraciones pero con diferencias de temperatura controlables;
Bases de equipos a gran escala, producidos en serie y sensibles al presupuesto.
V. Resumen de una frase
Cer\u00e1mica de alta dureza: El \u201crey de la alta precisi\u00f3n y la limpieza\u201d para piezas en c\u00e1mara \/ m\u00f3viles \/ condiciones extremas, pero quebradiza, dif\u00edcil de mecanizar, cara y no se puede hacer grande.
Granito de precisi\u00f3n: El \u201cEsqueleto Estable y Pesado\u201d para grandes bases \/ plataformas \/ referencias de amortiguaci\u00f3n de vibraciones, con buena amortiguaci\u00f3n de vibraciones, f\u00e1cil mecanizado y alto coste-rendimiento, pero susceptible a la corrosi\u00f3n y al rayado.<\/p>\n\n\n\n![\"\"](\"https:\/\/jtlcnc.com\/wp-content\/uploads\/2026\/05\/11.jpg\")
<\/figure>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"In the semiconductor industry, high-hardness ceramics (Al\u2082O\u2083, SiC, Si\u2083N\u2084, etc.) primarily target “chamber interiors \/ moving parts \/ extreme operating conditions,” while granite focuses on “large bases \/ platforms \/ vibration isolation references,” forming a clear complementary division of labor. The following is a direct comparison from four aspects: performance, typical applications, machining and assembly,…<\/p>","protected":false},"author":1,"featured_media":2828,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"_seopress_robots_primary_cat":"","_seopress_titles_title":"","_seopress_titles_desc":"","_seopress_robots_index":"","_seopress_analysis_target_kw":"","_kad_blocks_custom_css":"","_kad_blocks_head_custom_js":"","_kad_blocks_body_custom_js":"","_kad_blocks_footer_custom_js":"","_kadence_starter_templates_imported_post":false,"_kad_post_transparent":"","_kad_post_title":"","_kad_post_layout":"","_kad_post_sidebar_id":"","_kad_post_content_style":"","_kad_post_vertical_padding":"","_kad_post_feature":"","_kad_post_feature_position":"","_kad_post_header":false,"_kad_post_footer":false,"_kad_post_classname":"","footnotes":""},"categories":[35],"tags":[],"class_list":["post-2827","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-news"],"taxonomy_info":{"category":[{"value":35,"label":"NEWS"}]},"featured_image_src_large":["https:\/\/jtlcnc.com\/wp-content\/uploads\/2026\/05\/11.jpg",600,450,false],"author_info":{"display_name":"jinxing6611@gmail.com","author_link":"https:\/\/jtlcnc.com\/es\/author\/jtlcnc\/"},"comment_info":0,"category_info":[{"term_id":35,"name":"NEWS","slug":"news","term_group":0,"term_taxonomy_id":35,"taxonomy":"category","description":"","parent":0,"count":220,"filter":"raw","cat_ID":35,"category_count":220,"category_description":"","cat_name":"NEWS","category_nicename":"news","category_parent":0}],"tag_info":false,"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/es\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2827","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/es\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/es\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/es\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/es\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=2827"}],"version-history":[{"count":1,"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/es\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2827\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":2829,"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/es\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/2827\/revisions\/2829"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/es\/wp-json\/wp\/v2\/media\/2828"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/es\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=2827"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/es\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=2827"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/jtlcnc.com\/es\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=2827"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}