Aplicaciones: Inspecci\u00f3n de defectos en la superficie de las obleas, part\u00edculas, grosor de la pel\u00edcula y ancho de l\u00ednea.
Casos:
Las m\u00e1quinas de inspecci\u00f3n de obleas de AMEC y Shanghai Micro Electronics Equipment (SMEE) utilizan bases de granito Jinan Blue \/ Mount Tai Blue con un nivel de planitud de 0,05\u03bcm\/m.
Las plataformas de granito de Xiamen Jinshi Precision tienen una cuota de mercado de aproximadamente 19% en equipos de inspecci\u00f3n de obleas, equipadas con posicionamiento por adsorci\u00f3n al vac\u00edo uitable para obleas de 8\/12 pulgadas.
La plataforma ultra grande de 6000mm\u00d72000mm de Furuihua se utiliza en l\u00edneas de producci\u00f3n de obleas de 12 pulgadas, manteniendo la estabilidad de la planitud en 0,0008mm durante tres a\u00f1os consecutivos.<\/li>\n\n\n\n
Casos:
Las estaciones de sonda de gama alta de Advantest y Teradyne cuentan con latforms y bases de n\u00facleo de granito de precisi\u00f3n con un coeficiente de expansi\u00f3n t\u00e9rmica tan bajo como 4,6\u00d710-\u2076\/\u2103, lo que garantiza el posicionamiento de la sonda a nivel de micras.
Fabricantes nacionales como Changchuan Tenology y Hua Feng Test & Control utilizan bancos de m\u00e1quinas de granito con \u00edndices de amortiguaci\u00f3n de vibraciones de 95% , lo que mejora la repetibilidad de las pruebas.<\/li>\n\n\n\n
Aplicaciones: Inspecci\u00f3n dimensional 3D de componentes semiconductores, accesorios, moldes y carcasas de embalaje.
Casos:
Serie Hexagon XPERT: Granito integral de precisi\u00f3n de medici\u00f3n cercana a 0,5\u03bcm, utilizado para la inspecci\u00f3n de nivel submicr\u00f3nico de componentes semiconductores.
Zeiss CONTURA G2: Eje Z un carril gu\u00eda de granito de 2,5 metros con error de rectitud <1\u03bcm en 1 metro.
Los principales modelos de fabricantes nacionales de MMC (como Sino Measuring y Edward) est\u00e1n equipados con plataformas de granito, adecuadas para salas blancas de semiconductores.<\/li>\n<\/ol>\n\n\n\n
II. Equipos de inspecci\u00f3n de alta gama (litograf\u00eda, rayos X, inspecci\u00f3n l\u00e1ser)<\/p>\n\n\n\n
- \n
- Plataformas de alineaci\u00f3n e inspecci\u00f3n de litograf\u00eda
Aplicaciones: Alineaci\u00f3n de m\u00e1quinas litogr\u00e1ficas, inspecci\u00f3n de m\u00e1scaras y medici\u00f3n de la precisi\u00f3n de la superposici\u00f3n de obleas.
Casos:
Etapas de m\u00e1quina litogr\u00e1fica de proceso 3nm\/5nm: Utilizar adsorci\u00f3n al vac\u00edo con rugosidad superficial Ra\u22640,05\u03bcm, controlando la deformaci\u00f3n t\u00e9rmica a nivel nanom\u00e9trico.
Informe SEMI: En las f\u00e1bricas chinas de waer de 12 pulgadas, 78%<\/strong> de las estaciones de alineaci\u00f3n e inspecci\u00f3n de litograf\u00eda especifican plataformas de granito.<\/li>\n\n\n\n- Plataformas de inspecci\u00f3n por rayos X y tomograf\u00eda computarizada
Aplicaciones: Inspecci\u00f3n de defectos internos de chips, uniones soldadas BGA y cortocircuitos entre capas en embalajes.
Casos:
Las m\u00e1quinas de inspecci\u00f3n por rayos X de Rayence y Zhaomao Technology utilizan plataformas de rodamiento con n\u00facleo de granito para garantizar relaciones geom\u00e9tricas estables entre la fuente de taci\u00f3n y el detector, evitando la distorsi\u00f3n de la imagen.
Las plataformas de granito pueden blindar contra interferencias electromagn\u00e9ticas parciales, mejorando la relaci\u00f3n se\u00f1al-ruido de las im\u00e1genes de rayos X.<\/li>\n\n\n\n- Interfer\u00f3metros l\u00e1ser y plataformas \u00f3pticas
Aplicaciones: Calibraci\u00f3n a nivel nanom\u00e9trico de planitud, rectitud, \u00e1ngulos y desplazamiento.
Casos:
Los interfer\u00f3metros l\u00e1ser Renishaw y Agilent se emparejan con \u00f3pticas de granito que ofrecen mejor estabilidad t\u00e9rmica que las met\u00e1licas, adecuadas para la calibraci\u00f3n en laboratorio y en l\u00edneas de producci\u00f3n.
La plataforma de material compuesto de \u201cfibra de carbono de granito\u201d de Shanghai Leishuo Precision reduce ocho por 30% sin sacrificar la precisi\u00f3n, utilizada para la inspecci\u00f3n \u00f3ptica de gama alta.<\/li>\n<\/ol>\n\n\n\nIII. Plataformas de envasado e inspecci\u00f3n final<\/p>\n\n\n\n
- \n
- Inspecci\u00f3n visual de envases (inspecci\u00f3n AOI\/3D)
Aplicaciones: Inspecci\u00f3n de la apariencia de las virutas, el plomo, la colocaci\u00f3n de las bolas y el marcado.
Estudios de casos:
Las l\u00edneas de envasado de JCET y Tongfu Microelectronics adoptan plataformas de granito como bases de inspecci\u00f3n por visi\u00f3n con flaess \u22640,003mm\/m, lo que garantiza la precisi\u00f3n en la adquisici\u00f3n de im\u00e1genes.<\/li>\n\n\n\n - Base para cortadora de cubitos \/ cortadora
Aplicaciones: Posicionamiento de precisi\u00f3n para corte de obleas, adelgazamiento y troceado de prCasos pr\u00e1cticos:
Los bastidores de las cortadoras de dados Disco utilizan granito monol\u00edtico, que ofrece una amortiguaci\u00f3n de las vibraciones superior a la del hierro fundido, con una precisi\u00f3n de corte que alcanza \u00b11\u03bcm.<\/li>\n<\/ol>\n\n\n\nIV. Materiales t\u00edpicos y especificaciones de precisi\u00f3n (referencias del sector)
Piedras principales: Verde Jinan, Verde Monte Tai, Rojo Wulian, G654 Fujian, Negro Ya'an Sichuan, Granito Slack
Precisi\u00f3n del n\u00facleo:
Planitud: 0,001-0,05\u03bcm\/m (Grado 000 \/ Grado 00oughness: Ra\u22640,005-0,05\u03bcm (Espejo \/ Grado \u00f3ptico).
Coeficiente de dilataci\u00f3n t\u00e9rmica: -\u2076\/\u2103 (Aproximadamente 1\/20 del acero)
Amortiguaci\u00f3n de vibraciones: 5-10 veces superior a la fundici\u00f3n<\/p>\n\n\n\nV. Principales proveedores nacionales y clientes de referencia
Furuihua: Al servicio de SMIC y Yangtze Memory Technologies, con plataformas ultra grandes (6m\u00d72m) aplicadas en la producci\u00f3n de 12 pulgadas l.
Xiamen Jinshi Precision: Aproximadamente 19% de cuota de mercado en equipos de inspecci\u00f3n de obleas, equipados con tecnolog\u00eda de adsorci\u00f3n al vac\u00edo.
Shanghai Jingshi \/ Leishuo: presta servicio a Adnced Micro-Fabrication Equipment (AMEC) y Shanghai Micro Electronics, principales proveedores de equipos semiconductores en el delta del r\u00edo Yangts\u00e9.
Kesite: 3m\u00d7tforms alcanzan el Grado 00, sirviendo a laboratorios nacionales clave y l\u00edneas de producci\u00f3n de semiconductores.<\/p>\n\n\n\nResumen:
El granito natural, con su extrema estabilidad, baja dilataci\u00f3n, alta amortiguaci\u00f3n y alta r, se ha convertido en el material insustituible elegido para las plataformas de inspecci\u00f3n de semiconductores, abarcando todo el proceso de inspecci\u00f3n de precisi\u00f3n, desde el front-end de la oblea hasta el empaquetado.<\/p>\n\n\n\n![\"\"](\"https:\/\/jtlcnc.com\/wp-content\/uploads\/2026\/02\/\u4e09\u5750\u68071-768x1024.jpg\")
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