000 Grade Granite Air Bearing Platform Equipos típicos adecuadosI. Equipos de alta gama para semiconductores y paneles (campo principal)Equipos de litografíaPlataformas de alineación litográficaMáquinas de inspección de obleas, prensas para obleasSemiconductores de capa fina
I. Principios básicos y composición estructuralPrincipio de funcionamiento: El aire limpio a alta presión se pulveriza a través de grafito poroso/acelerador hes para formar una película de aire uniforme de 5-15 μm.
I. Definiciones y funciones básicasLa base de granito (pórtico de mesa de trabajo/columna fraa MMC sirve de referencia absoluta para la medición, estableciendo un sistema de coordenadas tridimensional estable, soportando
I. Selección del material (Determina si se agrietará y la estabilidad)Tipos de materialPrioridad:Verde Jinan, Negro Zhangqiu (grano fino, uniforme, mejor estabilidad)Puntos clave de la aceptación (De lectura obligada para la adquisición)Sin grietas, sin
I. Prevención en origen: Selección del material adecuado y uso del proceso correcto (más crítico)Selección del materialPrioridad al granito de grano fino con pocas grietas y capas, como Jinan
Los factores que afectan a la coaxialidad de las Máquinas de Medir por Coordenadas (MMC) se reducen esencialmente a: axint inexacto, piezas de trabajo inestables, inexactitud de la máquina, entorno inestable y métodos inadecuados. I
Las plataformas y componentes de granito de precisión se están modernizando en cinco direcciones principales: alta precisión, integración, inteligencia, ecología y servitización. El motor principal es la rigidez
I. Material y estabilidad a largo plazoEnvejecimiento natural, tensión interna extremadamente baja: El granito de alta calidad (s Jinan Black) sufre un envejecimiento geológico durante cientos de millones de años, liberando
La inspección de errores de planitud de las plataformas de granito se realizará prioritariamente de acuerdo con GB/T 20428-2006 “Losas de roca ”*. Los métodos comunes incluyen el nivel electrónico
I. Requisitos de embalaje (envío / transporte a larga distancia) II. Requisitos de almacenamiento (almacén / almacenamiento in situ) IPrecauciones de manipulación e izadoDebe utilizar los orificios de izado de diseño original /
