1. Fabricación de semiconductores y circuitos integrados - Máquina y banco de trabajo de fotolitografía: Las características de baja deformación térmica del granito garantizan la estabilidad del tallado a nanoescala. - Equipos de inspección y embalaje de obleas: Utilizados para plataformas de alta precisión para reducir los efectos de las vibraciones y las fluctuaciones de temperatura. 2. Instrumentos de medición y metrología de precisión - Máquina de medición por coordenadas (MMC): Carriles guía de granito y proporcionan estabilidad dimensional a largo plazo, garantizando una precisión de medición a nivel micrométrico. - Interferómetro láser, perfilómetro óptico: Utilizados como plano de referencia para garantizar una alineación precisa de las trayectorias. 3. Máquinas herramienta y centros de mecanizado de alta gama - Bancada de máquina de ultraprecisión: Utilizada para el mecanizado de espejos, equipos de microtorneado, supresión y mantenimiento de la precisión geométrica. - Rectificadoras y fresadoras de alta precisión: Los componentes de granito mejoran la rigidez del equipo y reducen los errores de mecanizado causados por la deformación térmica. .
- Sistemas ópticos y optoelectrónicos - Soporte de telescopios: Grandes estructuras de granito soportan los grupos de lentes, resistiendo la deformación ambiental. - Plataforma de emisores láser: Estabilidad de la trayectoria del haz principal en corte por láser, equipos láser médicos.
5. Investigación científica y campos especiales - Guía de líneas de luz de aceleradores de partículas: Instituciones como el CERN utilizan para apoyar imanes de precisión. - Dispositivo de detección de ondas gravitacionales (como LIGO): Adopta una base de granito gigante para aislar las interferencias sísmicas.
