I. المبادئ الأساسية والتركيبة الهيكلية
مبدأ العمل: يتم رش هواء نظيف عالي الضغط من خلال الجرافيت المسامي/المخنق المتردد لتشكيل طبقة هوائية موحدة من 5-15 ميكرومتر بين قاعدة الجرانيت والشريحة المتحركة؛ يحقق الرفع بدون تلامس حركة بدون احتكاك، مع الاعتماد على صلابة الهواء لتحمل الحمل والتوجيه؛ وغالبًا ما يقترن بالتحميل المسبق بالتفريغ/التحميل المسبق المغناطيسي لتعزيز مقاومة الدوران وصلابة تحمل الحمل.
الهيكلية القياسية
القاعدة: جينان إين / شانشي بلاك / جرانيت أسود مستورد من الجرانيت الأسود هيكل متآلف بالكامل من الجرانيت (موجهات طاولة العمل X/Y)، مما يضمن التوافق الحراري;
محمل هوائي / منزلق: وسائط مسامية/مختنق سمالي، محرك خطي مباشر بمحرك خطي;
ملاحظات القياس: مقياس التداخل بالليزر / مقياس خطي نانوي (دقة تصل إلى 0.01 ميكرومتر);
معالجة مصدر الهواء: تثبيت ضغط التجفيف متعدد المراحل (0.01 ميكرومتر) التجفيف بالضغط;
نظام عزل الاهتزازات: وسادات هوائية/قاعدة عزل الاهتزاز، تكبح الاهتزازات البيئية.
ثانيًا. المزايا المادية والتقنية المزايا المادية والتقنية
الجدول
شرح الميزة شرح الميزة مقارنة الميزة مقارنة الميزة
ثبات حراري قوي للغاية معامل التمدد الخطي الغرانيتي 7-9 جزء في المليون/درجة مئوية، ثلاثي المحاور يلغي التدرجات الحرارية؛ انجراف درجة الحرارة < 0.3 ميكرومتر في 8 ساعات تحت بيئة 20 ± 0.5 درجة مئوية متفوق على الحديد الصلب (11-12 جزء في المليون/درجة مئوية)، والألومنيوم (23 جزء في المليون/درجة مئوية)
الحد من الاهتزازات عالية التخميد يخفف الهيكل البلوري الاهتزازات بسرعة أكبر من الحديد الزهر؛ ضوضاء التشغيل <50 ديسيبل يقلل بشكل كبير من التداخل من القصور الذاتي للحركة والاهتزازات البيئية على القياس
احتكاك منعدم، عمر افتراضي طويل عدم الاحتكاك، عدم وجود غشاء غير قابل للتآكل، عدم التآكل، عدم الانزلاق اللاصق؛ الاحتفاظ الجيد بالدقة على المدى الطويل تجنب تآكل وتدهور دقة الموجهات الكروية
غير مغناطيسية ومقاومة للاهتراء ومقاومة للتآكل صلابة Mhs 6-7، سطح Ra ≤ 0.02 ميكرومتر؛ غير مغناطيسية ومقاومة للصدأ مناسبة لقطع العمل المغناطيسية والورش النظيفة
ثالثًا. مواصفات المادة، والتصنيع الآلي، والمواصفات الدقيقة
معايير اختيار المواد: الجرانيت المقاييس من الدرجة 00/000، هيكل كثيف، حبيبات موحدة، لا تشققات/لامينات؛ تعتيق بدرجة حرارة ثابتة طويلة الأجل لتحرير الضغوط الداخلية تمامًا;
عملية التصنيع الدقيق القطع الخشن ← الطحن الخشن ← الطحن الخشن ← استرخاء الإجهاد ← الطحن الدقيق/الكشط اليدوي ← الصقل ← التلميع ← التلطيف المستمر ← فحص التسطيح/التعامد/الاستقامة؛ تسطيح يصل إلى 0.002 مم/م²، استقامة توجيهية 0.001 مم/1000 مم;
الدقة النموذجية: دقة تحديد الموضع ± 0.05 ميكرومتر، إمكانية التكرار ± 0.02-0.1 ميكرومتر؛ صلابة الغشاء الهوائي > 10 نيوتن/ميكرومتر;
متطلبات مصدر الهواء: الضغط 0.4 - 0.6 ميجا باسكال، نقطة الندى -40 درجة مئوية، محتوى الزيت < 0.01 مجم/م³، حجم الجسيمات < 0.01 ميكرومتر؛ يجب إيقاف تشغيل الطاقة قبل بدء التشغيل، وقطع الطاقة قبل الهواء عند إيقاف التشغيل.
رابعاً. السيناريوهات والقيود المطبقة
التطبيقات الأساسية: الطباعة الحجرية لأشباه الموصلات/الفحص، والتصنيع والفحص الضوئي، وآلات قياس الإحداثيات (CMM)، والطباعة الحجرية بالبصمة النانوية، وقياس الأجزاء الفضائية الدقيقة;
القيود: مقاومة ضعيفة للصدمات (هشاشة الجرانيت)، ومتطلبات عالية للغاية لجودة مصدر الهواء، وتكلفة المعدات العالية وعتبة الصيانة، وتصميم التحميل المسبق المعزز المطلوب للأحمال الثقيلة.
V. النقاط الرئيسية لبيئة التركيب والصيانة
التحكم البيئي: 20 ± 0.5 درجة مئوية، تدرج درجة الحرارة < 0.2 درجة مئوية/ساعة، الرطوبة 45%-60%، النظافة فئة ISO 7;
الصيانة اليومية: يمنع منعًا باتًا الخدوش الحادة على السطح؛ المسح بمنظف نيو وقطعة قماش خالية من الوبر؛ فحص منتظم لترشيح/مصدر الهواء وفتحات حمل الهواء بحثًا عن أي انسداد؛ إعادة فحص التسطيح والاستقامة بانتظام;
النقل والتركيب: الرفع من أعلى، وتجنب الصدمات؛ اتركه لمدة 24 ساعة بعد التركيب قبل التشغيل.
سادساً. مقارنة مع المنصات الإرشادية التقليدية
الجدول
نوع المنصة تحديد موضع المنصة العمر الافتراضي مقاومة الاهتزازات البيئة القابلة للتطبيق
محمل هواء جرانيت هوائي ± 0.05 ميكرومتر، إمكانية التكرار ± 0.02 ميكرومتر شبه دائم (بدون تآكل) غرفة قياس نظيفة بدرجة حرارة ثابتة للغاية عالية للغاية
دليل كروي (حديد مصبوب) ± 1 ميكرومتر، قابلية التكرار ± 0.5 ميكرومتر يحتاج إلى الاستبدال بعد 5-8 سنوات مستوى أرضية الورشة العامة
محرك خطي سيراميك المحرك الخطي يقترب من محمل الهواء طويل عالي التكلفة عالية للغاية، بشكل رئيسي للأبحاث
اتجاهات الموضة
ويؤدي تطبيق الجرانيت المركب (الجرانيت المقوى بألياف الكربون)، والتحكم النشط في غشاء الهواء، وأنظمة درجة الحرارة الثابتة في المنطقة الكاملة إلى تحسين الاستقرار الحراري وخفة الوزن؛ كما أن دقة الحركة النانوية في أشباه الموصلات 3 نانومتر والقياس الدقيق الكمي مستمر في دفع التكرار التكنولوجي.
