تُصنف درجات دقة المنصات الحاملة للهواء الدقيقة (المنصات الحاملة للهواء من الجرانيت) بشكل عام في الصناعة إلى نظامين: دقة الحركة والسطح المرجعي المستوي I. درجة دقة المنصة الجرانيتية (درجة القياس)، وهي الدرجة الأساسية، التي تحدد مدى دقة السطح المرجعي: تسطيح الجدول (نموذجي) المعدات القابلة للتطبيق، الدرجة 000 ≤ 2 ميكرومتر/م² CMM فائقة الدقة وفحص أشباه الموصلات و...
000 منصة تحمل هواء الجرانيت من الدرجة الجرانيتية معدات مناسبة نموذجيةI. معدات أشباه الموصلات والألواح المتطورة (المجال الأساسي)معدات الطباعة الحجريةمنصات محاذاة الطباعة الحجرية عالية الدقةمنصات محاذاة الطباعة الحجريةآلات فحص الرقاقات، أجهزة فحص الرقاقاتأجهزة فحص الرقاقاتقياس الرقائق الرقيقة لأشباه الموصلات، أجهزة قياس الملامحآلات ربط الرقائق، معدات الرقائق المقلوبةشاشات العرض المسطحة (OLED/LCD) الفحص الدقيق، معدات الإصلاح بالليزرII. أدوات قياس فائقة الدقةماكينات قياس الإحداثيات فائقة الدقة (CMM)أجهزة قياس الإحداثيات فائقة الدقة (CMM)أجهزة قياس الإحداثيات بالليزر في منصات القياسمقاييس الملامح عالية الدقة،...
